提供一种能够节省空间且能够在短时间内向处理腔室供给稳定的浓度成分的混合气体的气体供给装置。该气体供给装置具有：多个流体控制单元(A1～D2)，其分别包括供气体(G)流通的流路(CH)、以及设于该流路(CH)的中途且对在该流路中流通的气体...

本发明提供一种流体控制器，其是使用隔膜来截断流道的流体控制器，可以通过简化工艺来制造，使隔膜即使在恒定的负载下长期使用也不会引起塑性变形，即使高腐蚀性的液体流入流道，也不会损坏隔膜，即使高温液体流入流道，在流体控制器打开和关闭时隔膜压件...

本发明提供一种Y型阀，其与以往的Y型阀相比，阀芯的脱落可能性降低，将阀杆与阀芯连结的销的破损可能性也降低。Y型阀具有：管状部，其与配管连接；大致呈Y状的主体，其具有相对于该管状部在斜向上延伸设置的分支管部；和使在前端具有阀芯的阀杆驱动的...

本发明提供一种气化供给装置(1)，具备：预加热部(2)，其对液体原料(L)进行预加热；气化部(3)，其配置于所述预加热部(2)的上部，且对从所述预加热部(2)送出的已被预加热的所述液体原料(L)进行加热并使其气化；流量控制装置(4)，其...

本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具备：具有光源(22)以及光检测器(24)的电气单元(20)；具有测定单元(1)的流体单元(10)；用于将来自光源的光传输到测定单元的第一光传输部件(11)；用于将来自测定单元的光传输到光检测器的...

本发明提供一种隔膜阀，其具备：阀体(3)，其形成有流路(2)；阀座(4)，其形成于所述流路；金属隔膜(5)，其通过相对于该阀座抵接或远离而开闭所述流路；一对夹持部(6、7)，其分别夹持该金属隔膜的两侧面的周缘部而将所述金属隔膜固定于所述...

本发明提供不受高压用、高温用等用途制约而具有优异的耐久性能且能够抑制颗粒产生的控制阀。隔膜阀包括：阀体(2)，其形成有流体的流入通路(22)及流出通路(23)；阀座(25)，其形成于该阀体内的流入通路的周缘；隔膜(30)，其通过与该阀座...

提供一种流体控制装置，其能够抑制对气体管线加热的加热器的热对相邻的流体控制设备产生的影响。在流体控制装置(1)中，气体管线(3)具备：沿着第一方向(D1)设置的树脂部件(4)；设置在树脂部件(4)上的第一托架(20)；设置在第一托架(2...

一种流路形成区块，具备：第一区块；第二区块，其被安装于第一区块，且具有第一流路以及第二流路；垫片，其被设置于第一区块与第二区块之间，且对第一区块和第二区块之间进行密封，第二区块具有被形成于与垫片对置的面、并将第一流路和第二流路连通的连通...

本发明提供一种能够适当控制在半导体的制造中进入到工艺腔室内的尘粒的尺寸的技术。隔膜(30)具备：金属制的薄板(31)、以及在薄板(31)的一侧的面(接液面(31A))的整体上形成的薄膜层(32)。薄膜层(32)的表面粗糙度的最大高度Rm...

本发明提供一种具备不停止驱动装置的通常动作，就能够检测在驱动装置中使用的压电元件的劣化的压电元件的劣化检测电路的驱动装置以及劣化检测方法。驱动装置(1)具备：压电元件(2)、电源部(3)、第一电阻(11)、第二电阻(12)、测定部以及控...

本发明提供能够解决由螺栓紧固不足引起的气密性能下降、由于螺栓过度紧固而隔膜损伤的问题，并能够实现隔膜的耐久性等性能的不均匀减少、紧固作业简化的隔膜及隔膜阀。在隔膜(4)上设有直径大于刚好能够供螺栓穿插的直径的贯通孔(13)。能够供螺栓穿...

本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具备：具有光源(22)以及光检测器(24)的电气单元(20)；具有测定单元(1)的流体单元(10)；以及连接电气单元(20)和流体单元(10)的光纤(11、12)，构成为通过用光检测器(24)检测...

本发明提供一种流量控制装置(10)，其具备：控制阀(11)；节流部(12)，其设置于控制阀(11)的下游侧；上游压力传感器(13)，其测定控制阀(11)与节流部(12)之间的压力(P1)；差压传感器(20)，其测定节流部(12)的上游侧...

本发明提供能够可靠地固定温度传感器并能够后安装于标准零部件的温度传感器的安装构造体。温度传感器(S)的安装构造体(1)安装于流体控制装置(X)的流路块(2)或流体控制设备(3)，其中，该流体控制装置(X)包括：多个流路块，其在内部具备流...

得到响应精度高的流量控制装置。流量控制装置(1)具备：流量传感器(102)，其测量流体的流量；以及控制部(104)，其调整流量以使流体的流量成为流量设定值，控制部具备：控制阀(105)，其使流量变化；驱动电路(41)，其驱动控制阀；传感...

本发明提供一种用于测定在连接有多个气体供给管线的合流块体(14)中流动的气体的浓度的浓度测定装置(20)，其具备：发出向形成于合流块体的流路入射的光的光源(40)；接收从流路出射的光的光检测器(44)；以及根据光检测器的输出求出在流路中...

提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，...

提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，...

提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构...