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中央硝子株式会社专利技术
中央硝子株式会社共有540项专利
去除钼的一氟化物至五氟化物的方法和半导体器件的制造方法技术
本发明通过使含卤素气体与沉积或覆盖有MoFx、或MoFx和MoOFx(其中,x表示大于0且小于6的数)的部件接触,从所述部件去除MoFx、或MoFx和MoOFx的去除MoFx、或MoFx和MoOFx的去除方法、以及包括该去除方法的半导体...
感光性树脂组合物制造技术
本发明涉及一种感光性树脂组合物。本发明提供一种具有良好的硬化性和拨液性的感光性树脂组合物及其硬化物。本发明的感光性树脂组合物包含乙烯性不饱和化合物(A)、光聚合引发剂(B)、碱溶性树脂(C)、含氟树脂(D)及具有下述通式(1)所表示的结...
非水电解液、非水钠离子电池、非水钾离子电池、非水钠离子电池的制造方法及非水钾离子电池的制造方法技术
本发明提供一种非水电解液、使用了该非水电解液的非水钠离子电池及非水钾离子电池、以及非水钠离子电池的制造方法及非水钾离子电池的制造方法,所述非水电解液为用于钠离子电池或用于钾离子电池的非水电解液,其包含(I)非水有机溶剂、(II)作为离子...
感光性树脂组合物制造技术
本发明涉及一种感光性树脂组合物、树脂膜、硬化物、阻隔壁、有机电致发光元件、波长转换层、显示器、硬化物的制造方法及阻隔壁的制造方法。本发明的课题在于提供一种感光性树脂组合物,其相溶性良好,用以制造拨液性均匀性高的阻隔壁及/或光学密度的均匀...
非水系电解液和使用其的非水系电解液二次电池制造技术
提供能抑制初始电阻增大的新型非水系电解液、和使用其的非水系电解液二次电池。非水系电解液含有:(I)下述通式[1a]所示的化合物、(II)溶质、和(III)。另外,非水系电解液二次电池含有上述非水系电解液。M+[X‑S(=O)2‑N‑C(...
非水钠离子电池用电解液、非水钠离子电池及其制造方法技术
本发明提供非水钠离子电池用电解液、非水钠离子电池及非水钠离子电池的制造方法,其中,所述非水钠离子电池用电解液包含(I)非水溶剂、(II)钠盐及(III)氟代硫酸盐,相对于非水钠离子电池用电解液总量,所述(III)的含量为0.05质量%~...
非水钠离子电池用电解液制造技术
本发明提供:包含
表面处理方法技术
本发明的目的在于,提供利用能够在无等离子体且低温下去除金属氮化物的气体组合物的表面处理方法
非水电解液制造技术
本公开提供非水电解液
表面处理方法技术
本发明的目的在于,提供利用能够在无等离子体且低温下去除金属氧化物或金属的气体组合物进行的表面处理方法
组合物制造技术
氢氯氟烯烃系新型组合物包含
非水电解液、非水电解液电池、及化合物制造技术
本发明利用非水电解液,提供初始电阻值低的非水电解液、非水电解液电池、及可适合用于上述非水电解液的化合物。该非水电解液含有:(I)选自由说明书中记载的通式(1)所示化合物(例如下述式(1a)所示的化合物)及通式(2)所示化合物(例如下述式...
非水电解液用添加剂、非水电解液和非水电解液电池制造技术
提供能够平衡良好地发挥在50℃以上的高温下的循环特性及在
含氟聚合物制造技术
本发明提供一种用于成膜用溶液的含氟聚合物,其能够形成在浸渍于显影液时不易产生残渣的膜。本发明的含氟聚合物的特征在于包含下述式(1)所示的重复单元和下述式(2)所示的重复单元,以下述式(1)所示的重复单元为基准的质量百万分率表示,上述式(...
感光性树脂组合物、固化物、含氟树脂固化膜及显示器制造技术
本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物,其可改善适宜用作分隔壁材料的含氟树脂的表面粗糙度。本发明为一种感光性树脂组合物,其包含:氟原子含有率为20~60质量%的含氟树脂、包含重均分子量(Mw)为1,000~15,000的氟系化合物的含...
拒液剂、固化性组合物、固化物、分隔壁、有机电致发光元件、含氟涂膜的制造方法及含氟涂膜技术
本发明提供一种可制作分隔壁的拒液剂,该分隔壁即便进行氧等离子体处理或UV臭氧处理,拒液性也不易降低。本发明的拒液剂(A)的特征在于:其包含具有聚合单元(a1)与除上述聚合单元(a1)以外的1种或2种以上的聚合单元(a2)的聚合物,所述聚...
表面处理组合物及晶圆的制造方法技术
本发明的表面处理组合物是以蒸气形式被供给至表面具有凹凸图案的晶圆的表面的、用于在表面形成拒水性保护膜的、包含甲硅烷基化剂及溶剂的表面处理组合物,其中,甲硅烷基化剂包含三烷基甲硅烷基胺,溶剂包含选自由二醇醚乙酸酯及二醇乙酸酯组成的组中的至...
包含六氟异丙醇基的硅化合物、硅化合物的制造方法、聚硅氧烷和聚硅氧烷的制造方法技术
提供特定的卤代硅烷化合物的含量得以降低的含有HFIP基的硅化合物(含HFIP基的芳香族烷氧基硅烷)及其制造方法、将含有HFIP基的硅化合物聚合而成的聚硅氧烷及其制造方法。提供一种硅化合物,其包含下述式(1)所示的硅化合物和下述式(2)所...
树脂组合物、树脂膜、基材、聚合物以及聚合性单体制造技术
本发明涉及一种树脂组合物,其包含具有来自通式(I)所表示的聚合性单体的结构单元的聚合物。通式(I)中,R1为包含至少一个聚合性基团的基团,R2及R3分别独立地为氢原子、或者直链或支链的脂肪族烃基,R4为氢原子、或者直链或支链的脂肪族烃基...
非水电解液、非水电解液电池、及化合物制造技术
通过含有通式(1)所示的化合物、溶质和非水有机溶剂的非水电解液和非水电解液电池、以及通式(1)所示的化合物,从而提供初始电阻值低的非水电解液、非水电解液电池、及可适宜用于上述非水电解液的化合物。[通式(1)中,R1分别独立地表示PO(R
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