中芯国际集成电路制造上海有限公司专利技术

中芯国际集成电路制造上海有限公司共有10693项专利

  • 本发明提供一种测量气相沉积设备反应腔温度的方法。现有技术通过在反应腔内外均设置温度侦测单元来测量反应腔的温度,存在浪费成本、测温不准以及存有安全隐患的问题。本发明的测温方法先在气相沉积设备反应腔内外分别设置内、外部温度侦测单元;然后改变...
  • 本实用新型提供了一种液位指示计,它包括主体管、磁性浮标、与主体管平行的指示管和位于指示管内的磁性指示标。磁性浮标位于主体管内,并可在主体管内移动。磁性指示标由顺序排列在指示管内的若干指示磁体组成。磁性浮标感应指示管内的指示磁体南北极指向...
  • 本实用新型揭示了一种聚合物粉末添加信号发生器,涉及信号发生器领域。本实用新型由固定托架、托架、横托架、竖托架、导线、导电金属薄片对、指示器、外接电源、重杆、箱罩、外包管组成。所述导电金属薄片对和托架组安装在所述箱罩内;所述箱罩与固定托架...
  • 液体液面准位量测装置的固定限位结构,用以固定限位该液体液面准位量测装置的感测棒及液面准位感测浮体,其包括:    至少一支撑体;    若干间隔体,其分别间隔地固接于所述的支撑体上;及    若干穿孔,其分别形成于所述的间隔体上,以使所...
  • 本实用新型提供了一种传感器的防水罩,传感器可发出光探测信号探测研磨晶圆是否有滑片,该防水罩包括罩体和罩帽,罩体套在传感器上,罩帽盖在罩体上封闭罩体顶部。罩体在对着传感器发出光探测信号的位置开有敞孔。本实用新型的传感器的防水罩通过罩在研磨...
  • 本发明提供了一种修正仪表示值的方法,包括下列步骤:1)提供离散的标准数据;2)利用离散的标准数据,采用回归分析的方法,得到描述修正后仪表示值和原始的仪表示值之间关系的修正函数;3)将原始的仪表示值代入修正函数,计算得到修正后的仪表示值本...
  • 本发明提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法。制造太阳能电池用的燧道炉传送带用“镍铬合金带”构成,其特征是,传送带上表面设置多个“镍铬合金”构成的支撑柱,在支撑柱顶表面涂覆陶瓷层(即Al↓[2]O↓[3])。按照本发明方法制造的...
  • 本实用新型公开了一种干燥装置,包括:密封腔体、密封腔体侧壁上的密封门、密封腔体内用于放置晶圆的晶圆架、用于向密封腔体内通入气体的进气装置,还包括至少一个连通密封腔体用于排出污染物的排放口,所述排放口与进气装置相对,且位于晶圆架和密封门之...
  • 本发明公开了一种晶片的干燥方法,包括步骤:将晶片放置在干燥器的片架上;将所述片架降入所述干燥器内的水槽中;利用所述水槽中的去离子水对所述晶片进行冲洗;将所述片架缓慢提升,同时向所述干燥器内通入氮气;当所述片架提升至所述晶片即将露出水面时...
  • 本发明揭示了一种晶片干燥方法,包括:当晶片完全位于液面之下时,向液面以及上方空间喷洒冲洗液蒸汽以及干燥气体;以预定的速度将晶片抬升出液面,当晶片开始高于液面时,停止喷洒冲洗液蒸汽,仅仅喷洒干燥气体;在晶片抬升至离开液面的过程中,始终喷洒...
  • 本发明涉及一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法。现有的装设有热电偶且一端已经密封的石英护套中若出现水份时,很难彻底去除水份,造成热电偶使用寿命降低或测温不准的问题。本发明的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法,其中,该石英护套的...
  • 一种晶片的干燥方法,其特征在于,包括步骤: 将晶片放置在片架上; 将所述片架置于干燥器水槽内的去离子水中; 向所述干燥器内通入氮气; 提升所述片架; 当所述片架提升至所述晶片完全露出水面后,保持片架静止,并且继续通入氮气; 停止通入氮气...
  • 本发明提供了一种静电吸盘的清洗方法,该静电吸盘正面中部具有一凸部,该凸部上具有多个吸脚。现有技术因无合适的清洗方法致使静电吸盘出现氦气背压报警而使设备宕机。本发明的方法先提供一具有用于支撑静电吸盘的边沿的支撑部及用于容纳该凸部的容置空间...
  • 本发明公开了一种干燥装置,包括:旋转台、连接所述旋转台位于旋转台上方用于放置晶圆的晶圆架,还包括与所述晶圆架相对,用于向晶圆吹气的干燥辅助装置。本发明干燥装置由于解决了现有技术晶圆干燥后表面残留水份并且干燥时间长的问题,因而提高了晶圆干...
  • 本发明公开了一种液态化学品的加热方法,所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输,所述加热方法通过液体传热介质对所述液态化学品进行加热。本发明还提供了一种液态化学品的加热装置,包括:加热器,用于加热液体传热介质;换热器,用于将所述液...
  • 一种具有热回收装置的补充空气单元,涉及补充空气单元领域,其结构包括第一和第二热盘管,内管和外管。第一热所述内管分别与第二热盘管的出水管和第一热盘管的进水管相连,所述管分别与第一热盘管的出水管和第二热盘管的进水管相连。其中,第一热盘管中的...
  • 本发明提供了一种可去除空气分子污染物的空调箱,它包括:空调箱外壳,依次安装在空调箱内部的进气阀门、初中效过滤器、预热盘管、预冷盘管、再冷盘管、再热盘管、风机、高效过滤器和出气阀门,在空调箱内部还安装有水雾清洗系统,所述的水雾清洗系统位于...
  • 本实用新型提供了一种改进型空调箱,其包括:空调箱外壳,依次安装在空调箱外壳内部的进气阀门,初效过滤器,中效过滤器,加热器,制冷器,风机,高效过滤器和出气阀门,在空调箱外壳内部还安装有活性炭过滤器,所述的活性炭过滤器位于高效过滤器和出气阀...
  • 本实用新型公开了一种风门系统,它可以分批打开百叶,使工作间的气压变化控制在可以接受的范围。它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗,所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭,而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中,所述的传送装置至...
  • 本实用新型公开了一种空调冷凝水回收装置,包括冷凝水回收罐、水 泵、阀门等通过管道连接,将新风空调的冷凝水输送到冷凝水回收罐,通 过水泵加压将这些冷凝水供应到空调中替代冷冻水来降温,降低了制冷机 的运行负荷也节约了大量的电能;空调出水直接...