中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所专利技术

中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所共有69项专利

  • 本发明公开了一种均匀剥离半导体材料的装置及方法,本发明通过在聚焦系统后方设置高速相机,在聚焦系统前方设置CCD相机,利用高速相机拍摄激光在第一加工路径的第一位置上诱导半导体材料改质时该位置在当前拍摄时刻的裂纹长度L1,根据裂纹长度L1调...
  • 本发明公开了一种非线性近场滤波方法,通过在激光滤波光路中设置单块或多块级联的非线性滤波晶体,利用非线性滤波晶体对待滤波光束中的不同立体角的近场高频成分进行频率转换,并在后续放大传输过程中将其滤除,从而实现空间滤波,有效地解决了原有空间滤...
  • 本发明公开了一种高效减薄剥离半导体材料的加工装置及方法,通过采用将一束激光分成多束激光的方法,并通过引入电阻测试系统、激光测距仪、红外热成像仪和CCD相机对半导体材料激光改质加工过程中的电阻率变化情况、材料发生的材料翘曲、材料表面出现的...
  • 本发明公开了一种双脉宽激光耦合剥离半导体材料的设备及方法,通过将双脉宽激光耦合辐照至半导体材料内,利用高光强的飞秒脉冲激光将价带的电子跃迁至导带形成自由电子种子,随后利用长脉冲激光对导带上的自由电子进行吸收、产热并形成热应力差,从而实现...
  • 本发明公开了一种基于空间复用结构的紧凑型激光放大系统,所述系统包括:种子源激光器,用于提供种子信号光;扩束装置,用于对所述信号光进行扩束;光束整形装置,用于对所述信号光的尺寸、光斑形状和强度分布进行控制;功放系统,用于对信号光进行放大;...
  • 本发明公开了一种激光自适应减薄剥离半导体材料的装置及方法,通过在激光加工装置中引入激光测距仪,对加工过程中材料发生的翘曲以及材料表面存在的凹凸缺陷信息进行实时测量;同时引入红外热成像仪,对加工过程中聚焦系统的温度进行实时监控,并将以上测...
  • 本发明公开了一种多波长激光耦合剥离半导体材料的设备及方法,通过将多波长激光耦合辐照至半导体材料内,利用光子能量更高的短波长激光将价带的电子跃迁至导带形成自由电子,随后利用长波长激光对自由电子进行吸收,并产生热应力差,进而诱导半导体材料改...
  • 本发明公开了一种高硬度纳米周期光栅的制备方法,该方法首先利用激光强化装置进行光栅制备材料的表面冲击强化;接着对强化后的光栅制备材料进行清洗抛光处理;最后利用纳米周期光栅制备激光系统,对抛光后的光栅制备材料进行加工,制备得到纳米周期光栅。...
  • 本实用新型公开了一种固体激光器中晶体端面散热装置,该装置包括:连接板、安装板和导热板;连接板底部安装有水冷散热鳍片;安装板固定在连接板顶部,安装板上可移动地安装有一对夹板,一对夹板相对的表面安装多组出风风扇,相互远离的表面上安装无刷风机...
  • 本发明提供一种基于宽带光空域
  • 本发明公开了一种多波长耦合激光冲击强化的装置及使用方法,该装置及使用方法将短波长激光和长波长激光耦合作用引入至激光冲击强化作业中,针对不同加工材料实现了多波长激光选取、能量配比、时间延迟以及实时监测的精密自动化调节,实现多波长激光耦合冲...
  • 本发明公开了一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置及方法,本发明通过以损伤后入射光斑的调制度以及透过率作为依据,将传统测试方法中忽略的由于损伤产生的光场调制以及能量损耗效应进行分析,得到光学元件损伤增长过程中的功能性损伤增长阈值,从而规...
  • 本发明属于稀土发光材料技术领域,涉及金属有机框架材料的制备,具体涉及用于铝离子比率型检测的铕基金属有机框架材料及其制备方法。其制备方法为:将铕盐与2
  • 本发明公开了一种光学元件后表面激光损伤阈值的测试装置及测试方法,本发明通过多次测量背向受激布里渊散射和自聚焦效应的增益情况,将传统测试方法中忽略的两种非线性效应考虑进来,得到了激光诱导光学元件后表面损伤时真实的激光能量与激光光斑大小,从...
  • 本发明涉及一种宽带激光随机偏振匀滑方法,该方法包括:步骤1、依次设置激光发生装置、偏振晶体、束匀滑系统、聚焦系统、靶,偏振晶体、束匀滑系统、聚焦系统、靶沿激光发生装置的光路设置;步骤2、启动激光发生装置,朝偏振晶体发射宽带低相干激光光束...
  • 本发明涉及一种成缆式增益光纤温控系统,包括缆管、增益光纤套管组件、支撑件、缆管分支、密封头,支撑件和增益光纤套管组件安装在缆管内部,支撑件上设有用以增益光纤套管组件穿设的穿缆孔;缆管的两端设有用以缆管两端封堵的密封头,缆管分支连接到缆管...
  • 本发明公开了一种通过图像测量两个目标之间距离的方法,两个目标设为A和B,A和B处于互相垂直的两个平面内,所述方法包括:在A和B处,设置均为矩形且长宽已知的第一靶标和第二靶标,并且使得第一靶标的一条边和第二靶标的一条边平行;成像装置获得同...
  • 本发明公开了一种对激光束入射角度相对误差不敏感的色谱合成装置及方法,该色谱合成装置通过在普通的二向色镜上添加特殊的分区镀膜构成复合色谱合成镜,通过将该复合色谱合成镜与角锥棱镜配合使用,使两支激光束的光路中均只存在一次反射,从而避免因色谱...
  • 本发明公开了一种条纹相机图像边缘提取的方法,用于提取条纹相机所获得的图像,所述方法包括:读入所述图像,并沿列方向进行扫描,对于每一列扫描获得的图像的提取方法包括:获得当前列上不同距离上的光强大小的二维图像,所述二维图像包括表示光强v大小...
  • 本发明公开了一种用于强激光加载物理实验自支撑薄膜靶部件的制备方法,所述靶部件的厚度在1