本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备，依次包括同轴密封连接的等离子发生器、反应腔、冷却腔，所述等离子发生器包括射频电源、中频电源、等离子体管、螺旋感应圈、气体分布头。本实用新型的优点在于结构简单，操作方便，成本低廉，且制...

本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，包括冷却腔，所述冷却腔同轴密封连接于反应腔尾端，所述冷却腔顶部设置有热交换器，所述热交换器包括排列设置成环形的多个冷却水腔以及连通该多个冷却水腔的冷却液管路，所述冷...

本申请公开了一种大功率复合频率ICP等离子发生器，包括：射频电源，频率为3‑27.12MHz,功率为1‑10KW；中频电源，频率为50‑1000KHz,功率为10‑200KW；等离子体管，内部形成有等离子体发生内腔；螺旋感应圈，同轴包裹...

本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器，包括反应腔，所述反应腔两端分别同轴密封连接于等离子发生器与冷却腔，所述反应腔侧壁至少设置有一个进气环，所述进气环与所述反应腔侧壁之间密封连接，所述进气环内部形成有环...

本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，包括冷却腔，所述冷却腔同轴密封连接于反应腔尾端，所述冷却腔顶部设置有热交换器，所述热交换器包括排列设置成环形的多个冷却水腔以及连通该多个冷却水腔的冷却液管路，所述冷...

本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器，包括反应腔，所述反应腔两端分别同轴密封连接于等离子发生器与冷却腔，所述反应腔侧壁至少设置有一个进气环，所述进气环与所述反应腔侧壁之间密封连接，所述进气环内部形成有环...

本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备，依次包括同轴密封连接的等离子发生器、反应腔、冷却腔，所述等离子发生器包括射频电源、中频电源、等离子体管、螺旋感应圈、气体分布头。本发明的优点在于结构简单，操作方便，成本低廉，且制备的...

本申请公开了一种大功率复合频率ICP等离子发生器，包括：射频电源，频率为3‑27.12MHz,功率为1‑10KW；中频电源，频率为50‑1000KHz,功率为10‑200KW；等离子体管，内部形成有等离子体发生内腔；螺旋感应圈，同轴包裹...