益周科技有限公司专利技术

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  • 本发明公开一种微机电感测器,包括:基板;绝缘结构,形成于该基板上,其中该绝缘结构包括锚结构与多个凸起物,该等凸起物位于该锚结构的两侧;微机电元件,通过该锚结构与该等凸起物接合于该基板上,其中该微机电元件包括中心结构、多个第一结构、多条感...
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