本发明公开了一种膜层及其制造方法和具有该膜层的光伏器件，属于太阳能电池技术领域。本发明采用磁控溅射工艺在基板表面依次沉积氧化钛薄膜、氧化硅薄膜和氧化锡薄膜的叠层结构作为透明导电氧化物前电极，使叠层透明导电氧化物前电极的制造可以在多室溅射...