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玄创半导体设备上海有限公司专利技术
玄创半导体设备上海有限公司共有3项专利
一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶制造技术
本发明涉及一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,包括瓶体,瓶体包括瓶颈、瓶身,瓶颈的外侧上设有瓶把手,瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖,瓶盖上设有瓶盖锁装置,瓶盖锁装置包括气缸销,气缸销通过气缸销座固定在瓶盖的边沿上,气缸销包括气缸、锁销,气缸...
化学品更换智能防呆系统及方法技术方案
本发明涉及一种化学品更换智能防呆系统,包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车,设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端。化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模...
一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶制造技术
本实用新型涉及一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,包括瓶体,瓶体包括瓶颈、瓶身,瓶颈的外侧上设有瓶把手,瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖,瓶盖上设有瓶盖锁装置,瓶盖锁装置包括气缸销,气缸销通过气缸销座固定在瓶盖的边沿上,气缸销包括气缸、锁销,...
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