一种用于监控半导体处理系统的方法，该半导体处理系统包括气体递送系统、热系统和流体流量管线，该方法包括从气体递送系统、热系统或其组合获得多个操作数据，并基于多个操作数据中的一个或多个操作数据确定流体流量管线的性能特性。该方法包括：标识参考...

本公开涉及一种用于控制给加热器的功率的系统和方法，该加热器包括至少一个加热元件。该控制系统包括：功率转换器，该功率转换器可操作用于向加热器提供可调整的电压输出；传感器电路，该传感器电路测量加热器的加热元件的电特性；参考温度传感器，该参考...

一种加热器包括氮化铝(AlN)基板和加热层。加热层由钼材料制成并且通过瞬时液相结合而结合到AlN基板。加热器还可以包括布线层和将加热层连接到布线层的多个第一导电通孔。布线层和多个第一导电通孔可以由钼材料制成并且布线层和多个第一导电通孔中...

一种构造E

通过将扩散器层沉积到静电盘上并移除扩散器层的区域以形成由间隙分离的分立的扩散器段来形成静电卡盘。分立的扩散器段可以限定连续的同心环、不连续的同心环、或连续的同心环和不连续的同心环的组合。通过在扩散器层中形成至少一个沟槽来将分立的扩散器段...

提供了一种用于排气系统的加热系统的控制系统。控制系统包括至少一个设置在流体流动通道内的电加热器，以及适于接收至少一个输入的控制装置，该输入选自由流体流动的质量流率、流体流动的流速、所述至少一个电加热器上游的流动温度、所述至少一个电加热器...

提供了一种温度感测单元及具有温度感测单元的加热器组件，其包括用于测量物体的温度的温度传感器和安装构件。安装构件是弹性的并且附接到温度传感器以将温度传感器固定在物体的周围，并且一种形式的温度传感器限定具有非常低的轮廓和高温性能的第一热电偶...

一种混合模块化无线传感器组件包括限定第一孔和第二孔的壳体。第一通信端口设置在第一孔处并被配置为可通信地耦接到外部传感器，以及第二通信端口设置在第二孔处并被配置为物理连接到外部通信设备。无线电源设置在该壳体中。一个或多个电子设备从无线电源...

一种加热器组件，包括连续系列的穿孔的螺旋形构件和多个加热元件。穿孔的螺旋形构件协配以限定围绕加热器组件的纵向轴线设置的几何螺旋体。每个穿孔的螺旋形构件限定相对的边缘和预定图案的穿孔。穿孔延伸穿过平行于纵向轴线的每个穿孔的螺旋形构件。加热...

一种监测动态系统的状况的方法，包括在动态系统的预定位置处安装振动信号获取装置，由振动信号获取装置获取振动信号，在频域中分析振动信号，以及基于频域中的振动信号预测动态系统的状况的变化。还提供了一种系统，并且动态系统的状况包括阻塞。态系统的...

本申请提供了用于尾气系统或流体流动系统的加热装置。该加热装置具有容器主体，并且包括至少一个加热器元件和设置在该容器主体内的支撑件。该支撑件用于限制该至少一个加热器元件在该容器主体内的移动。该支撑体限定了弯曲的几何形状，并且沿该至少一个绝...

一种用于校准被配置成控制双线加热器的控制系统的方法，包括：向电耦合到控制系统的负载提供功率；分别由控制系统和控制器校准系统生成负载的初始测量特性和经校准的测量特性。该方法还包括基于初始测量特性和经校准的测量特性的相关性来限定经校准的测量...

一种调节电阻加热器的功率密度分布的方法，包括设计基线加热器电路。设计具有恒定迹线功率密度的检测电路，并且检测电路与基线加热器电路重叠。制造检测电路，并且获得其基线热图。制造基线加热器电路，并且获得标称热图。制造后续检测电路，并且获得实际...

本发明公开了一种红外热成像检测系统(10)，该系统包括热源(12)，该热源(12)配置成可移除地附接到对象(26)的外表面(28)。热成像装置(16)获得对象(26)的热图像，而分析装置(20)基于热图像来确定在对象(26)中的缺陷(2...

一种用于操作加热器的控制系统，包括：控制器，该控制器配置成基于加热器的测量的性能特征、功率设定点和功率控制算法确定操作功率电平，基于加热器处的测量的泄漏电流、泄漏电流阈值和水分控制算法确定烘烤功率电平，并且选择待施加到加热器的功率电平。...

钎焊工艺使用金属碳合金来将陶瓷连接到陶瓷，将陶瓷连接到金属以及将金属连接到金属。连接的制件可用于多种应用中，并且可包括诸如加热器和卡盘的半导体加工设备制件以及具有高度耐磨表面层的工业设备部件。具有高度耐磨表面层的工业设备部件。具有高度耐...

一种构造加热器的方法包括以下步骤：形成包括陶瓷衬底和嵌入其中的多个第一嵌条的烧结组件；在烧结组件的相对表面中的一个上形成功能元件，使得功能元件连接到多个第一嵌条；以及形成其中嵌入有功能元件和多个第一嵌条的单片衬底。

提供一种陶瓷基座组件。该陶瓷基座组件包括限定上表面和下表面的陶瓷衬底、延伸穿过陶瓷衬底的至少一个过孔、在陶瓷衬底的上表面上延伸的上导电箔层和在陶瓷衬底的下表面上延伸的下导电箔层。每个过孔包括限定空腔的上过孔和限定对应的锥形插入件的下过孔...

公开了用于基于荧光感测衬底的温度的温度感测探头。温度感测探头包括光纤电缆，该光纤电缆在冷端具有光接口，在热端具有用于接触衬底的温度感测元件。护套包围光纤电缆的热端的至少一部分。保持构件牢固地且可移除地将护套与支撑构件接合。护套在温度感测...

提供一种支撑基座，其包括衬底，衬底具有限定第一组区的顶部电阻层和限定第二组区的底部电阻层。第一组区和第二组区的每个区联接到多个电端子中的至少两个电端子，并且电端子的总数量小于或等于第一组区和第二组区的总数量。数量。数量。