沃特洛电气制造公司专利技术

沃特洛电气制造公司共有64项专利

  • 提供一种控制加热系统的方法,其包括具有至少一个加热器组件,加热器组件包括多个加热器单元,每个加热器单元限定至少一个独立控制的加热区,通过电连接到每个加热器单元中的每个独立控制的加热区的电源导体向每个加热器单元供电,并调制供给每个独立控制...
  • 提供了一种预测加热系统中的电阻加热元件的温度的方法。该方法包括获得电阻加热元件的电阻特性并补偿温度范围内的电阻特性的变化。电阻加热元件的电阻特性包括但不限于由于应变引起的电阻变化,由于冷却速率引起的电阻变化,由于暴露于温度引起的功率输出...
  • 一种半导体处理设备包括晶圆支承组件、在晶圆支承组件中集成以测量晶圆支承组件的温度的温度传感器和信号传输装置,该信号传输装置将关于通过温度传感器获得的温度测量的信号无线地发送至外部控制模块。
  • 提供了一种用于排气系统的加热系统的控制系统。控制系统包括至少一个设置在排气流体流动通道内的电加热器,以及适于接收至少一个输入的控制装置,该输入选自由排气流体的质量流率、排气流体的质量速度所述至少一个电加热器上游的流动温度、所述至少一个电...
  • 提供了一种用于加热流体流动系统的感受器。在一种形式中,感受器布置在导管内并适于从至少一个加热元件吸收辐射能量并且抑制辐射能量被导管和/或其他部件的至少一个壁吸收。在另一种形式中,感受器吸收和抑制被导管的外壁吸收的辐射能量。
  • 提供了一种用于流体流动应用的控制系统。控制系统包括具有至少一个电阻加热元件的加热器。加热器适于加热流体流动。控制系统还包括控制装置,该控制装置利用来自至少一个电阻加热元件的热损失来确定流体流动的流动特性。
  • 提供一种加热器,其包括至少一个电阻加热元件,该电阻加热元件具有非单调电阻率对温度分布的材料,并且在沿着该分布的预定操作温度范围内呈现负dR/dT特性。加热器可包括设置在流体路径中的多个回路以加热流体流动。
  • 提供了一种用于排气系统(18)的加热器系统(20)。加热器系统(20)包括设置在排气管中的加热器(28)。加热器(28)包括设置在排气管(32)中的多个加热元件(38)。加热控制模块(30)根据每个加热元件特有的操作条件不同地控制多个加...
  • 本发明提供了用于在排气系统中使用的加热装置(1)和方法,该加热装置(1)包括:限定排气路径(30)的容器本体(14);附接至容器本体(14)的外部的加热器凸缘部件(20);以及加热器组件,该加热器组件设置在排气路径(30)中并且紧固至加...
  • 加热器系统包括加热器束和电源装置。加热器束包括多个加热器组件和多个电力导体。加热器组件包括多个加热器单元,每个加热器单元限定至少一个独立控制的加热区域。电力导体电连接到每个加热器单元中的每个独立控制的加热区域。电源装置被配置为通过电力导...
  • 提供了一种用于在加工室中支撑基底和调节该基底表面温度的设备及其制造方法。该设备包括基座,其具有用于支撑所述基底的表面,和用于加热该基底的加热器,并且该加热器紧邻该基座布置。该基座是由复合材料制成的,其包含植入基质中的多个导热弓形元件,该...
  • 一种用于加热流过通道的流体的加热器,其包括具有预定形状的连续电阻加热元件,该预定形状直接暴露于流体流。预定形状包括横截面几何形状,其提供通道内所需的热分布、结构强度和减小的背压。预定形状可以包括翼型,同时横截面几何形状提供通道内所需的热...
  • 本发明公开了一种加热器组件(10),其包括:加热构件(12);安装构件(14),该安装构件(14)将该加热构件(12)安装到外部部件的壁(16);以及绝缘体(22),该绝缘体(22)被布置在该加热构件(12)和壁(16)之间。该绝缘体(...
  • 一种控制电阻加热器运行的控制系统,其包括介电参数测定模块,来当电阻加热器处于活动模式时测定该电阻加热器的介电参数,和诊断模块,用于基于该介电参数来诊断电阻加热器的性能。
  • 热阵列系统包括多个电阻器电路,多个电阻器电路限定了电阻器电路的数量Rn。热系统还包括多个节点,所述节点连接多个电阻器电路并且多个节点限定了节点的数量Nn。多个电源线连接至多个节点中的每一个,多个电源线限定了电源线的数量Pn。多个信号线连...
  • 热系统包括多个热元件。在一种形式中,热元件中的每一个限定了电阻器和限流装置。多个热元件具有并联热元件的至少第一子集和并联热元件的至少第二子集。系统还具有连接至多个热元件的多个电源线。电源线成对配置用于将电能提供至并联设置连接的多个热元件...
  • 高热导率晶片支撑基座装置
    一种用于静电卡盘的支撑基座装置包括底座壳体,所述底座壳体限定内部腔,以及底座插入件,所述底座插入件被布置成接近所述底座壳体的内部腔。在所述内部腔中形成流体路径并且所述流体路径包括多个线性平行的冷却通道、流体供应通道和流体返回通道,所述多...
  • 有源接地热电偶及操作方法
    一种有源温度测量系统,包括至少一个接地热电偶和与所述至少一个接地热电偶通信的处理器。所述处理器被配置成接收来自所述至少一个接地热电偶的测量值。当所述处理器接收来自所述至少一个接地热电偶的测量值时,所述至少一个接地热电偶被隔离电压偏置。
  • 控制热阵列的系统和方法
    本发明提供了一种系统和方法。在一个方面,本系统和方法可以计算多个模式的各个模式的时间周期。本系统和方法可以通过相应时间周期的每个模式索引以根据所述模式将电力提供给多个热元件。在另一个方面,本系统和方法可以通过多个模式的每个模式顺序地索引...
  • 用于加热器的热动态响应感测系统
    本发明公开了一种加热器系统,其包括加热器组件、成像装置以及控制系统。该加热器组件包括多个加热区域。成像装置获取该加热器组件的图像。该控制系统基于热图像来确定多个加热区域中的变化。