本技术公开了一种局部夹层被，设置有夹层部和通常结构部，所述夹层部设置呈双层结构，包括内层和外层，内层与外层之间形成夹层，所述夹层设置有开口。所述局部夹层被主体呈长方形，所述夹层部设置在被头部，其余部分为通常结构部；所述开口为设置在夹层部...

本实用新型涉及到膜修复技术领域，尤其涉及光学监控系统多片式膜厚修正装置。该光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架、膜厚修正板和基板。本实用新型所涉及的光学监控系统多片式膜厚修正装置应用于多光路光学监控系统，可同时对基板多个半...

本实用新型涉及到膜修复技术领域，尤其涉及光学监控系统多窗口装置。该光学监控系统多窗口装置，包括OMS光源入射窗口、真空室腔体真空室门和OMS光源接收窗口。本实用新型所涉及的光学监控系统多窗口装置应用于多光路光学监控系统可同时对基板多个半...