本技术公开了一种晶圆自动对中机构，属于半导体设备领域。一种晶圆自动对中机构，包括底板，所述底板上端面固定连接有直线气缸，所述直线气缸侧壁安装有移动块，所述移动块顶部固定连接有安装板，所述安装板侧壁固定连接有连接臂，所述连接臂侧壁固定连接...

本发明涉及晶圆生产领域，且公开了一种旋转顶升机构，包括底板，所述底板的顶端安装有底座，底座的内部安装有晶圆吸附组件，底座的一侧安装有转动驱动组件，底座的另一侧安装有顶升驱动组件，晶圆吸附组件包括开设于底座内部的内腔，内腔的内部纵向设置有...

本申请涉及工艺优化技术领域，提供用于晶圆的光刻工艺优化方法及系统。所述方法包括：将晶圆放置于旋转平台，通过激光传感器采集获得晶圆实际位置数据；根据预设紫外光镜头中心，结合所述晶圆实际位置数据，获得晶圆实际偏移数据；通过移动模组，根据所述...

本发明涉及匀胶显影工艺领域，且公开了一种用于匀胶显影工艺腔体，有效的解决了目前在进行排液排气时，液体易混在气体中进入排气管中，不易清洗的问题，包括下壳体，所述下壳体的顶端安装有第一上壳体，下壳体与第一上壳体之间设有第二上壳体，下壳体包括...

本发明涉及二流体喷嘴领域，且公开了一种二流体喷嘴，包括气液混合主体，所述气液混合主体的内部设置有气液混合腔，气液混合主体的底端安装有喷头，气液混合主体的顶端安装有顶部安装槽，顶部安装槽上安装有液路接头。本发明通过气液混合主体的材质、喷头...

本申请涉及供胶控制技术领域，提供一种用于供胶泵的供胶控制方法及系统

本发明公开了一种芯片加工设备及方法，属于芯片加工领域

本发明提供的一种晶圆清洗装置，涉及晶圆生产技术领域，以在一定程度上解决晶圆清洗时，药液飞溅的问题

本申请涉及自动化控制技术领域，提供一种基于扫码枪的半导体加工自动控制方法及装置

本发明提供一种超高粘度光刻胶旋涂方法，涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种超高粘度光刻胶旋涂方法

本发明提供的一种搬运机器人，涉及自动化作业设备技术领域，以在一定程度上解决搬运机器人检修及维护过程复杂，影响生产效率的技术问题。本发明提供的搬运机器人,包括定位台、滑动机构、安装台、承载机构及运载机构；滑动机构包括导向组件和滑动组件，导...

本发明提供一种基于晶圆升降控制机构的甘油热板装置，包括底座和外壳，所述外壳的表面设置有加热机构、排风过滤机构和防爆机构。本发明通过升降气缸来带动晶圆支撑座进行高度的调节，同时在底座的表面设置了用于对晶圆支撑座进行缓冲的保护组件，通过保护...

本实用新型公开了一种气动型流体控制阀，属于气动阀门技术领域，一种气动型流体控制阀，包括压盖和阀体；所述压盖压合于所述阀体；所述压盖设置气源入口与气源连通；所述阀体两侧设置流体入口和流体出口；所述流体入口和流体出口通过气源入口能相互连通；...

本发明提供了一种晶圆对准控制方法及系统，涉及图像数据处理技术领域，方法包括：通过机器视觉对待对准目标晶圆进行视频采集，对待对准晶圆视频进行关键帧分析，获取N个图像关键帧后进行特征提取，确定待对准晶圆特征信息，根据待对准晶圆特征信息，确定...

本发明属于晶圆制造技术领域，特别涉及一种基于大气机械手的垂直行程增程机构。包括底座单元、支撑单元、传动组件单元及升降滑座单元，其中支撑单元和传动组件单元均设置于底座单元上，支撑单元用于支撑传动组件单元，升降滑座单元与传动组件单元连接，传...

本发明涉及半导体技术领域，具特别涉及一种单皮带实现增程倍速机构。该机构包括底板、固定导向机构、移动臂、主动轮组件、从动轮组件、同步带、连接臂组件及随动导向机构，其中移动臂通过固定导向机构与底板滑动连接，主动轮组件和从动轮组件分别设置于移...

本发明涉及一种晶圆定位夹紧组件，属于夹紧定位技术领域。该组件包括基座，顶面设置若干搭台，晶圆搭接在若干搭台上，基座内设有气流通道，基座的顶面上开设有与气流通道连通的气流出口，气流出口位于若干搭台之间；造气设备，基座安装在驱动机构的主轴上...

本发明公开了一种高速热盘密封腔开启结构，包括工作台，所述工作台上固定安装有晶圆加工箱，所述工作台上安装有两组支撑座，所述支撑座上固定安装有电动推杆，所述电动推杆活塞杆一端连接有传动杆，所述传动杆的端部通过连接件连接有遮光板，所述遮光板上...

本实用新型涉及一种垂直晶片浸泡去胶转换机构，属于晶片制造技术领域。该机构包括固定安装板；第一升降装置安装在固定安装板上，第一升降装置安装有升降台，升降台安装有第一竖杆，第一竖杆穿过固定安装板并伸出；第二升降装置安装在升降台上，第二升降装...

本实用新型涉及一种有机溶剂无气泡供应系统，属于芯片制造技术领域。该系统包括压力容器，压力容器的顶端贯穿形成容器口，压力容器的下部设置有出液口；顶盖，顶盖盖合在容器口处，顶盖的中心位置开设有通孔；滚珠丝杠，转动插装于通孔；旋转驱动机构，安...