上海提牛机电设备有限公司专利技术

上海提牛机电设备有限公司共有20项专利

  • 本发明公开了一种旋转式硅片清洗辅助装置,属于硅片生产技术领域。该装置包括底部框架、滚轴和齿轮驱动机构,所述底部框架上设有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔和第二通孔相对设置形成一组对穿孔,所述滚轴的两端分别穿设于第一通孔和第二通孔内,所述...
  • 本发明公开了一种硅片清洗干燥一体化装置,该装置包括可移动框架,在所述可移动框架中设有控制柜、气缸、升降装置、自动盖板和清洗槽,所述升降装置设置在箱体中,在箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架,所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、...
  • 本发明公开了一种用于硅片清洗的机械手,属于硅片清洗技术领域。该机械手包括基座、升降驱动机构、夹具机头、基座侧移驱动机构和两个夹爪,所述升降驱动机构的下端与基座连接,用于驱动夹具机头和夹爪进行竖直方向的移动,所述夹具机头安装在升降驱动机构...
  • 本发明公开了一种硅片夹爪及硅片夹持机构,属于硅片清洗技术领域。夹爪包括横梁、两个连接杆和承载横梁,横梁的两端分别与两个连接杆的上端连接,承载横梁的两端分别与两个连接杆的下端连接,承载横梁上设有一组以上硅片夹持槽,每组硅片夹持槽均包括多个...
  • 本发明公开了一种硅片与片盒脱离机构,属于硅片清洗技术领域。该脱离机构包括底板、竖向固定支架、竖向移动支架、水平移动平台、硅片承载机构、驱动水平移动平台产生水平移动的第一驱动机构和驱动竖向移动支架产生竖向移动的第二驱动机构,所述竖向固定支...
  • 本发明公开了一种用于硅片夹持的夹具机头,属于硅片清洗技术领域。该夹具机头包括机座,机座内穿设有两个驱动杆和两个连接杆,两个驱动杆的左端分别连接有驱动块,两个连接杆的左端直径逐渐缩小,两个驱动块上分别设有支撑件,两个支撑件分别在复位机构的...
  • 本发明公开了一种升降式硅片清洗辅助装置,该装置包括箱体,在箱体内部设有升降装置,在所述箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架,所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒,所述驱动电机设置在箱体的底端面上,所述驱动电机通过齿轮驱动...
  • 本实用新型公开了一种硅片夹爪及硅片夹持机构,属于硅片清洗技术领域。夹爪包括横梁、两个连接杆和承载横梁,横梁的两端分别与两个连接杆的上端连接,承载横梁的两端分别与两个连接杆的下端连接,承载横梁上设有一组以上硅片夹持槽,每组硅片夹持槽均包括...
  • 一种硅片承载机构
    本实用新型公开了一种硅片承载机构,属于硅片清洗技术领域。该硅片承载机构包括底座、第一硅片承载架和第二硅片承载架,第一硅片承载架和第二硅片承载架对称设置在底座的上表面上,第一硅片承载架的顶部设有多道第一硅片卡槽,相邻两个第一硅片卡槽之间的...
  • 一种硅片承载机构
    本发明公开了一种硅片承载机构,属于硅片清洗技术领域。该硅片承载机构包括底座、第一硅片承载架和第二硅片承载架,第一硅片承载架和第二硅片承载架对称设置在底座的上表面上,第一硅片承载架的顶部设有多道第一硅片卡槽,相邻两个第一硅片卡槽之间的距离...
  • 腐蚀清洗槽自动盖板
    本实用新型公开了腐蚀清洗槽自动盖板,其技术要点是:包括清洗槽,所述清洗槽上设有左盖板与右盖板,所述左盖板上设有与左盖板垂直设置的第一调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第一转轴,所述第一调节杆的一端与第一转轴转动连接,另一端与左盖板固定连接,...
  • 化学液气液分离器
    本实用新型公开了化学液气液分离器,其技术要点是:包括储液管,所述储液管内设有储液腔,所述储液管的中部设有与储液腔连通的进液管,所述储液腔的顶部设有出口与空气排出口,所述储液管内设有出液管,所述出液管的两端分别设有底部进液口与顶部出液口,...
  • 化学品温度冷热交换器
    本实用新型公开了一种化学品温度冷热交换器,其技术方案要点是其包括工艺槽、温控交换槽、循环泵、过滤器、循环管路和能量交换管路,所述工艺槽的出液口与循环泵的进口连接,循环泵的出口连接能量交换管路的一端口,能量交换管路的另一端口连接过滤器的进...
  • 晶圆旋转机构
    本实用新型公开了晶圆旋转机构,其技术要点是:包括安装座与支撑板,所述安装座与支撑板之间呈垂直设置,所述安装座上设有旋转装置,所述支撑板上设有用于驱动旋转装置的驱动装置,所述旋转装置包括两组PEKK传动轴,所述两组PEKK传动轴成平行安装...
  • 滑块固定铸铝件
    本实用新型公开了一种滑块固定铸铝件,其技术方案要点是其包括滑块、滑轨、滚轴丝杠、以及传动带轮,所述滑块滑动安装在滑杆上,所述滚轴丝杠与滑块配合,所述传动带轮与滚轴丝杠的一端同轴心固定连接,传动带轮能够带动滚轴丝杠转动,滚轴丝杠能够带动滑...
  • 石英管同轴传动卧式清洗机
    本实用新型公开了一种石英管同轴传动卧式清洗机,包括底架和至少两水平并排设置在底架内的清洗单元,每一清洗单元包括:清洗槽,清洗槽内壁周向设置有若干侧部喷淋管,清洗槽的面向石英管开口的第一端部内壁设置有延伸入石英管内壁的端部喷淋管,清洗槽的...
  • 本实用新型公开了一种半导体芯片生产用化学品在线加热器,包括:化学品加热输送管道,所述化学品加热输送管道具有进料口和出料口;设置在所述化学品加热输送管道内的若干电炉加热丝,所述外围设置有第一传热层;设置在所述化学品加热输送管道内的温度控制...
  • 本发明公开了一种芯片深沟腐蚀装置,包括:酸槽;设置在酸槽内的芯片容纳盒,芯片容纳盒放置在固定架内,芯片容纳盒用于固定芯片的侧壁上设置有若干过流槽;设置在酸槽侧部的直线往复驱动机构,直线往复驱动机构的运动输出端与固定架连接,直线往复驱动机...
  • 芯片腐蚀提篮
    本发明公开了一种改良型芯片腐蚀提篮,包括前面板、后面板和一对侧面板围成的篮体,一对平行间隔设置在篮体底部的水平支撑柱,水平支撑柱的两端分别固定在一对侧面板的底部内表面,水平支撑柱上沿长度方向间隔设置有若干第一芯片卡槽;一设置在篮体中部的...
  • 夹取式机械手
    本发明公开了一种夹取式机械手,包括:机座,机座的侧部设置有机座侧移驱动机构;设置在机座上的升降驱动机构;设置在升降驱动机构顶端的夹取机构,夹取机构包括间隔设置在升降驱动机构顶端的一对旋转驱动部件,每一旋转驱动部件的旋转输出端连接有一转动...
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