本发明提供一种具有纳米线结构的清洁片，其用于对半导体设备机台或载物台的颗粒进行吸附，其特征在于，至少包括一个衬底(1)以及设置于所述衬底(1)上的纳米线(2)结构。本发明提供的技术方案，对机台的清洗效率高，实现成本低、易于安装和应用，容...

本发明提供一种基于静电吸附的机台颗粒清洗片，用于清洗半导体机台的碎屑或颗粒或杂质，其特征在于，至少包括一基片

本实用新型提供一种具有给无线传感器充电、数据传输功能的储存盒，其特征在于，包括盒体(1)、传感器承载部件、电路系统(6)，其中所述传感器承载部件用于摆放掩膜版传感器或晶圆传感器，所述电路系统(6)设置有接口与所述掩膜版传感器或晶圆传感器...

本实用新型提供一种原位无线光掩膜版测温传感器，用于测量光掩膜版(1)的温度，其特征在于，至少包括：一光掩膜版(1)，所述光掩膜版(1)上集成1个或多个温度传感器(3)；温度数据处理模块(5)，用于与所述温度传感器(3)连接并通讯，采集所...

本实用新型提供一种晶圆聚焦环间隙测量装置(1)，其包括一个晶圆片，并用于测量晶圆片与聚焦环之间的间隙，其特征在于至少如下装置被设置于所述晶圆片：间隙测量模块(4)，其用于测量所述晶圆片边缘与所述聚焦环之间的间隙距离；间隙采集模块(5)，...

本实用新型提供了一种多通道变送器外壳，至少包括前盖板安装螺钉(1)、前盖板(2)、变送器壳体(3)、后盖板(4)、后盖板安装螺钉(5)、DB15公头(6)和DB15公头固定螺钉(7)，所述前盖板(2)通过所述前盖板安装螺钉(1)与所述壳...

本发明提供一种最高温指示晶圆，其用于测量半导体制程设备中的晶圆的温度，至少包括一基片(1)，所述基片(1)上至少设置一薄膜(2)，在工作状态下所述基片(1)被放置于所述半导体制程设备中且至少所述薄膜(2)的表面特征随温度不同而变化。还提...

本发明提供一种原位无线光掩膜版测温传感器，用于测量光掩膜版(1)的温度，其特征在于，至少包括：一光掩膜版(1)，所述光掩膜版(1)上集成1个或多个温度传感器(3)；温度数据处理模块(5)，用于与所述温度传感器(3)连接并通讯，采集所述温...

本实用新型提供了一种一体式光纤测温探头总成，包括探针组件和跳线组件，探针组件包括探针上组件和探针下组件，探针上组件包括盖帽(1)、探针上部(2)与密封圈(3)，所述盖帽(1)与所述探针上部(2)连接，密封圈(3)被置于所述探针上部(2)...

本发明提供一种原位晶圆薄膜温度传感器，用于测量晶圆片(1)的温度，其特征在于，至少包括薄膜温度传感器(2)、薄膜引线(3)以及引线，所述薄膜温度传感器(2)连接所述薄膜引线(3)，所述薄膜引线(3)连接所述引线，至少所述薄膜温度传感器(...

本实用新型提供了一种分体式光纤测温探头总成，包括探针组件和跳线组件，探针组件包括盖帽(1)、光纤探针(2)、探针外壳(3)以及探针底座(4)，盖帽(1)与所述探针外壳(3)连接，探针外壳(3)内设置所述光纤探针(2)；跳线组件包括活动销...

本实用新型提供了一种真空光纤测温探头总成，包括探针组件和真空贯穿器组件，探针组件包括盖帽(1)、探针外壳(2)、第一密封圈(3)和光纤探针(4)，盖帽(1)与探针外壳(2)连接，第一密封圈(3)套于探针外壳(2)轴上，光纤探针(4)的一...

本发明提供一种晶圆聚焦环间隙测量装置(1)，其包括一个晶圆片，并用于测量晶圆片与聚焦环之间的间隙，其特征在于至少如下装置被设置于所述晶圆片：间隙测量模块(4)，其用于测量所述晶圆片边缘与所述聚焦环之间的间隙距离；间隙采集模块(5)，其与...

本实用新型公开了一种测温探针阵列结构，包括设置在罩盖正面的PCB总成以及设置在罩盖反面的探针总成，PCB总成至少包括垂直于罩盖设置的柔性印刷电路板排线以及通过印刷电路板连接器与柔性印刷电路板排线相连接的贴合罩盖设置的印刷电路板，探针总成...

本实用新型公开了一种带有压块的原位晶圆热电偶温度传感器，包括通过热电偶焊接点固定在晶圆外表面设置的一个或多个热电偶线以及将所述一个或多个热电偶线包覆在所述晶圆外表面并贴合所述晶圆外表面设置的一个或多个压块，其中，所述晶圆和/或所述压块外...

本发明公开了一种测温探针阵列结构，包括设置在罩盖正面的PCB总成以及设置在罩盖反面的探针总成，PCB总成至少包括垂直于罩盖设置的柔性印刷电路板排线以及通过印刷电路板连接器与柔性印刷电路板排线相连接的贴合罩盖设置的印刷电路板，探针总成至少...

本发明公开了一种带有压块的原位晶圆热电偶温度传感器，包括通过热电偶焊接点固定在晶圆外表面设置的一个或多个热电偶线以及将所述一个或多个热电偶线包覆在所述晶圆外表面并贴合所述晶圆外表面设置的一个或多个压块，其中，所述晶圆和/或所述压块外表面...

本发明公开了一种将光学探头集成在硅晶圆片上的检测系统，包括:设置有检测装置(10)的硅晶圆片(1)，在所述硅晶圆片(1)下方设置并半包覆所述硅晶圆片的聚焦环(2)，设置在所述聚焦环(2)下方的静电吸盘(5)，间隔所述硅晶圆片(1)并在所...

本实用新型提供了一种具有荧光材料的光纤流量计，其用于确定流体管内流体的质量流量，包括：两个间隔设置的荧光材料(1)；分别间隔两个所述荧光材料(1)设置的两条光纤(3)，其用于传递光源；与两条光纤(3)相连接的光电模块(5)，其用于发出高...

本发明提供了一种具有荧光材料的光纤流量计，其用于确定流体管内流体的质量流量，包括：两个间隔设置的荧光材料(1)；分别间隔两个所述荧光材料(1)设置的两条光纤(3)，其用于传递光源；与两条光纤(3)相连接的光电模块(5)，其用于发出高能量...