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三维普力约尔股份有限公司专利技术
三维普力约尔股份有限公司共有1项专利
基板清洗用喷嘴制造技术
本发明涉及一种基板清洗用喷嘴,向基板喷射清洗基板的清洗液,包括:第一主体,由树脂材质形成,在一面形成供用以清洗基板的清洗液流动的清洗液流路的一部分,以从另一面贯通到一面的清洗液流路的方式形成清洗液供给口,以供给清洗液;第二主体,由树脂材...
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