本发明公开了一种通过微波等离子体活化的化学气相沉积在基底上制备合成材料的方法。该方法包括提供构置为提供具有环形形状的等离子体的微波等离子体反应器的步骤。该反应器包括谐振腔和基底支撑物，该基底支撑物优选地布置成支撑环形基底或以环形构置来布...