一种压力传感器，包括具有第一壳体的基板，所述第一壳体限定布置在其上的气体填充内部腔体。弹性密封元件附接到第一壳体的自由端并且大致覆盖内部腔体的开口端以用于相对于外部环境密封内部腔体。弹性密封元件的一部分配置为响应于作用在其上的压力而可移...

本发明涉及一种用于支撑MEMS部件的装置，尤其是压力传感器，其具有由陶瓷形成的基板，在基板上的MEMS部件和形成用于围绕MEMS部件的腔的壁，其中，壁由经机加工的陶瓷腔阵列形成。

本发明涉及传感器组件、组装这样的传感器组件的对应方法、以及传感器系统。传感器组件包括至少一个换能器元件(106，106’，106”；206；306；406)，用于监测至少一个被测变量并生成与至少一个被测变量相关的电输出信号；以及传感器基...