本实用新型公开了一种新型真空机构，包括真空腔体、腔体传动装置以及设在真空腔体上的硅片传动平面，腔体传动装置上设有传动载体，其中腔体传动装置和真空腔体之间设有破空气路，所述破空气路上设有大气破空阀门。本实用新型腔体传动装置和真空腔体之间设...

本实用新型公开了一种可拆式气体喷淋头，包括气体导入管、盖板、第一气体分配板及第二气体分配板，盖板和第一气体分配板之间设有第一气体缓冲室，第一气体分配板和第二气体分配板之间设有第二气体缓冲室，第一气体分配板、第二气体分配板上设有贯穿上表面...

本实用新型公开了一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，包括载板本体、设在载板本体四周的框架、设在载板本体上的螺纹孔、设在载板本体上的槽口、和螺纹孔相互啮合的弹簧提拉组件。本实用新型用于固定硅片沉积的新载板，由弹簧提拉弹片组件压住硅片四周，...

本实用新型公开了一种PECVD载板自动清洗平台，包括底座、设在底座上的支架、设在支架上的传送装置、控制装置、载板放置槽、清洗装置，载板放置槽设有定位装置和打磨电机，传送装置和控制装置连接，控制着载板放置槽和打磨电机的升降移动。本实用新型...

本实用新型公开了一种异质结太阳能电池，包括：N型硅片；设在N型硅片受光面和背光面的本征非晶硅层；设在N型硅片受光面本征非晶硅层上的N型掺杂非晶硅层；设在N型硅片背光面本征非晶硅层上的P型掺杂非晶硅层；设在P型掺杂非晶硅层和N型掺杂非晶硅...

本实用新型公开了一种异质结太阳能电池，其包括：N型单晶硅片；设在N型单晶硅片受光面和背光面的本征非晶硅钝化层；设在N型单晶硅片受光面本征非晶硅钝化层上的P型掺杂非晶硅层；设在N型单晶硅片背光面本征非晶硅钝化层上的N型掺杂非晶硅层；设在P...

本实用新型公开了一种用于承载硅片的一体式花篮，其为框式结构，其顶部为全开口，所述花篮的两侧分别设有承载硅片的第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽和第二卡槽之间还设有第三卡槽，所述第一卡槽和第三卡槽的一侧组成一个硅片承载区域，所述第二卡槽和第...

本实用新型公开了一种太阳能电池载板，其包括传送载板与镀膜载板，所述送载板包括设有开孔的传送边框主体，在所述开孔中设有多条交叉设置的金属线，所述金属线形成多个承载区域用于承载多个硅片，所述金属线设有固定硅片的硅片对位块，所述硅片对位块上设...

本实用新型公开了一种PECVD沉积系统，其包括：多个处理腔室及载板传送装置；所述多个处理腔室至少包括上料机构及下料机构；所述载板传送装置可循环的将载板从上料机构传送进入其他的处理腔室，在多个处理腔室中传送，并从下料机构传送出处理腔室；所...

本实用新型公开了一种太阳能电池的栅线电极结构，其包括：主栅线电极、与所述主栅线电极交叉设置的细栅线电极、及设在细栅线电极边缘的电极连接线，所述细栅线电极靠近主栅线电极端的宽度大于远离主栅线电极端的宽度。本实用新型将细栅线电极设计成不同宽...

本实用新型公开了一种异质结太阳能电池，包括：n-型单晶硅片，设在n-型单晶硅片受光面的第一本征非晶硅薄膜层，设在第一本征非晶硅薄膜层上的n-型非晶硅薄膜层，设在n-型非晶硅薄膜层上的第一透明导电薄膜层，设在第一透明导电薄膜层上的金属栅线...

本实用新型公开了一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板和加热装置，其中所述载板包括框架、底板，所述框架设有至少一个开孔，所述开孔的内边设有台阶形边槽，所述底板设有至少一个开孔，底板上的开孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的开孔内，并卡...

本实用新型公开了一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板及加热装置，其中载板包括底板，所述底板包括框架及框架内形成的开孔，在开孔中固定在框架上设有多条承载硅片的金属丝，所述金属丝上设有固定硅片的定位块。所述加热装置包括载板和加热板。本实...

本实用新型公开了一种制备太阳能电池的挂具，其包括挂具架，所述挂具架上设有多个放置太阳能电池片的开孔，所述开孔四周的其中相对的两边上设有多个用于夹持太阳能电池片的弹夹，所述弹夹通过弹簧螺丝固定在挂具架上，其中设在的挂具架边缘位置的弹夹的一...

本实用新型公开了一种制备HIT太阳能电池的载板和加热装置，其中所述载板包括载板主体，所述载板主体上设有至少一个凹槽，所述凹槽用于承载硅片，所述凹槽内还设有多个凸起，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起支撑，所述加热装置包括载板和加热板。本实用...