江苏正帆半导体设备有限公司专利技术

江苏正帆半导体设备有限公司共有6项专利

  • 本实用新型涉及连续供气技术领域,尤其涉及一种连续供气装置,包括第一供气气路和第二供气气路,第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置,第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、...
  • 特种气体钢瓶的气动防呆装置
    本实用新型公开了一种特种气体钢瓶的气动防呆装置,包括:连接在钢瓶接头上的支座;用于遮挡钢瓶接头的遮挡板,遮挡板设置于支座的远离钢瓶接头的一侧;驱动装置,驱动装置连接在支座上,并能够驱动遮挡板朝向或远离钢瓶接头移动。该气动防呆装置能够较好...
  • 一种连续供气装置及方法
    本发明涉及连续供气技术领域,尤其涉及一种连续供气装置及方法,包括第一供气气路和第二供气气路,第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置,第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门...
  • 一种气柜控制系统
    本实用新型实施例公开了一种气柜控制系统,包括:主PLC,用于在工作状态下执行供气控制功能;辅PLC,与所述主PLC相连,用于在跟随运行状态下监测到所述主PLC故障,则从所述跟随运行状态切换到临时运行状态,且用于在所述临时运行状态下执行部...
  • 一种气动阀控制装置
    本实用新型实施例公开了一种气动阀控制装置,包括电磁阀、气动阀以及气体管路,还包括手动阀,所述电磁阀包括第一常开触点和第一常闭触点,所述第一常闭触点与进气端连接,所述电磁阀的输出端与所述气动阀连接;所述手动阀包括第二常开触点,所述第二常开...
  • 一种气柜控制系统及方法
    本发明实施例公开了一种气柜控制系统及方法,该控制系统包括:主PLC,用于在工作状态下执行供气控制功能;辅PLC,与所述主PLC相连,用于在跟随运行状态下监测到所述主PLC故障,则从所述跟随运行状态切换到临时运行状态,且用于在所述临时运行...
1