本发明提供了一种湿法黑硅制备方法，包括以下步骤：将硅片浸入含添加剂的碱溶液中，对硅片抛光，以去除硅片表面损伤层；将抛光后的硅片浸入金属离子溶液中，使金属离子附着在硅片上；将附着金属离子的硅片浸入浓氢氟酸和氧化剂的混合溶液中反应，得黑硅；...

本发明提供的一种用于加速氧化硅生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：包括以下重量百分数的组分：氟硅酸或氟硅酸盐类化合物0.1-25％，氨基酸类化合物0.1-15%，铵类化合物0.05-15％，表面活性剂0.001-0.05％，余量为...