湖南玉丰真空科学技术有限公司专利技术

湖南玉丰真空科学技术有限公司共有83项专利

  • 本实用新型公开了一种平移真空室,包括底架以及固定安装在底架上的真空室本体,真空室本体的同侧侧壁上开设置有基片入口和基片出口,在真空室本体内设置有基片平移机构,基片平移机构包括平行固定在真空室本体底板上的平移导轨,与平移导轨配合的基片框架...
  • 本实用新型公开了一种U型立式多功能双面镀膜生产线,包括平行设置的PVD连续真空生产线和CVD连续真空生产线,PVD连续真空生产线的末端与CVD连续真空生产线的首端通过真空平移室衔接,真空平移室用于将基片从PVD连续真空生产线转移至CVD...
  • 本发明公开了一种非规则曲面工件镀膜阴极用伸缩机构,包括矩形阴极、阴极支撑管、安装门板、丝杠副、连接板、驱动装置、控制装置,安装门板与真空腔体密封连接,矩形阴极背板的上下侧各连接有一根阴极支撑管,阴极支撑管的另一端穿过安装门板并通过焊接波...
  • 本实用新型公开了一种磁控溅射区域降温装置,该磁控溅射区域降温装置安装在磁控阴极的正对面、基片与磁控阴极之间,包括水冷板,所述水冷板底部通过支撑座固定在真空镀膜箱体底部,水冷板上部通过固定支架固定在镀膜箱体上部,所述水冷板朝向基片一侧的面...
  • 本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置,包括固定板、拉伸气缸、活动杆、活动板,所述固定板固定在真空室抽气口处,在固定板上沿垂直方向设置有多个开口,所述拉伸气缸固定在真空室抽气口的顶板上,拉伸气缸的活塞杆端通过连接套与活动杆连...
  • 本实用新型公开了一种耐高温基片夹具,包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架,在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽,在左、右立柱分别设置有翻板机构,翻板机构包括固定在左立柱/右立柱上的固定座,固定座上通过销轴转动连接有压板,...
  • 本实用新型公开了一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架,包括上支撑盘、上支撑座、下支撑盘、下支撑座、撑杆,上支撑盘固定在上支撑座上,下支撑盘固定在下支撑座上,撑杆连接上支撑盘、下支撑盘,在上支撑盘、下支撑盘之间沿周向分布有多块活动挂板,...
  • 本实用新型公开了一种磁场可调的磁控溅射阴极,包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板,磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成,每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接,调节组件包括调节螺母、调节螺杆...
  • 本实用新型公开了一种重载型铰链装置,包括两个上下间隔设置的、固定在室体上的铰链座,以及一个固定在室门的铰链板,铰链板包括面板部和圆筒部,面板部通过螺栓固定在室门上,筒状部置于上下两个铰链座之间,连接轴穿过两个铰链座以及筒状部的圆孔将铰链...
  • 本实用新型公开了一种溅射阴极匀气装置,包括安装在阴极靶门上的溅射阴极以及罩住溅射阴极的阴极挡板,在阴极挡板内侧、溅射阴极的两边沿溅射阴极长度方向,对称设有两段或两段以上的独立且互不连通的匀气管,所述匀气管由匀气外管和匀气内管组成,匀气内...
  • 本实用新型公开了一种真空室用翻板阀门装置,包括阀板,所述阀板上设有一组以上的连接装置,所述连接装置包括两根平行设置的连接杆,在两个连接杆之间设有连接座,连接座与连接杆之间通过轴活动连接,所述连接座通过螺杆与阀板连接,在连接座与阀板之间的...
  • 本实用新型公开了一种真空环境下的动力传输装置,包括输入轴、输出轴、外壳体、内壳体,内壳体呈圆筒状,内中空,内壳体穿透真空腔体壁并与真空腔体壁密封连接,内壳体在大气侧一端通过顶盖封闭,位于真空侧的输出轴伸入内壳体内并通过轴承与内壳体连接,...
  • 本发明公开了一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置,包括固定板、拉伸气缸、活动杆、活动板,所述固定板固定在真空室抽气口处,在固定板上沿垂直方向设置有多个开口,所述拉伸气缸固定在真空室抽气口的顶板上,拉伸气缸的活塞杆端通过连接套与活动杆连接,...
  • 本发明公开了一种耐高温基片夹具,包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架,在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽,在左、右立柱分别设置有翻板机构,翻板机构包括固定在左立柱/右立柱上的固定座,固定座上通过销轴转动连接有压板,在左...
  • 本发明公开了一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架,包括上支撑盘、上支撑座、下支撑盘、下支撑座、撑杆,上支撑盘固定在上支撑座上,下支撑盘固定在下支撑座上,撑杆连接上支撑盘、下支撑盘,在上支撑盘、下支撑盘之间沿周向分布有多块活动挂板,活动...
  • 本发明公开了一种磁场可调的磁控溅射阴极,包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板,磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成,每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接,调节组件包括调节螺母、调节螺杆、导...
  • 本发明公开了一种磁控溅射区域降温装置,该磁控溅射区域降温装置安装在磁控阴极的正对面、基片与磁控阴极之间,包括水冷板,所述水冷板底部通过支撑座固定在真空镀膜箱体底部,水冷板上部通过固定支架固定在镀膜箱体上部,所述水冷板朝向基片一侧的面板上...
  • 本实用新型公开了一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗,包括设置在真空室壁上的观察窗,在观察窗斜上方的真空室壁上设有真空密封轴,所述真空密封轴穿过真空室壁与设置在真空侧的挡板连接,所述挡板包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以及遮挡部...
  • 本实用新型公开了一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置,包括真空室体、阴极布气装置和真空室内环境布气装置,所述阴极布气装置包括护罩住阴极体及靶材的阴极外罩,阴极外罩和阴极体绝缘,阴极外罩通过供气管道与工艺气体馈入接口连接,在阴极外罩内部...
  • 本实用新型公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构,包括真空室体,所述真空室体为横向放置的圆筒状结构,其两端开口,在两端开口处焊接有法兰Ⅰ,法兰Ⅰ外端面为密封面,所述真空室体置于固定支座上,在真空室体两端各设有一封头门,所述封头门固定在...