华景电通股份有限公司专利技术

华景电通股份有限公司共有13项专利

  • 本实用新型涉及一种充气系统。该充气系统包含进气模块、排气模块及处理模块。进气模块包含主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。主进气管路连接供气设备及封闭空间。气动开关单元能选择性地阻断主进气管路。副进气管路两端连接气动开关单...
  • 本实用新型涉及一种晶圆盒载运系统。所述系统包含承载装置及气帘装置,所述承载装置包含平台、充气模块及控制模块,所述平台用以设置晶圆盒,所述充气模块用以对设置于平台上的晶圆盒进行充气作业,所述控制模块电性连接充气模块,气帘装置邻近于平台设置...
  • 本实用新型涉及一种晶圆盒承载装置,其用以承载晶圆盒,晶圆盒用以承装8英寸晶圆片,晶圆盒承载装置包含:本体及充气系统。本体具有承载平台,承载平台设置有两个限位结构,两个限位结构共同环绕形成有不大于400*300平方公厘的承载面,承载面用以...
  • 晶圆盒气体交换设备
    一种晶圆盒气体交换设备,其包含:固定平台、旋转机构、承载座及至少一导轮。旋转机构设置于固定平台。承载座设置于固定平台,且承载座与旋转机构相连接,而旋转机构能使承载座相对于固定平台旋转,承载座用以承载晶圆盒。导轮设置于固定平台,导轮的外缘...
  • 喷嘴
    一种喷嘴,所述喷嘴包含圆柱状的基部及抵顶部,基部的中心具有通气孔,通气孔的孔径不大于基部最大厚度的两倍;基部的外周缘或内壁具有环状沟槽,环状沟槽的深度不大于基部最大厚度的二分之一;抵顶部由基部的一端向外延伸形成,抵顶部的中心具有与通气孔...
  • 能防止断气的充气系统及晶圆充气系统
    本实用新型提供了充气系统。充气系统包含:主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。气动开关单元能选择地阻断主进气管路。副进气管路连接主进气管路及气动开关单元,电动开关单元能选择性阻断副进气管路。电动开关单元能于第一通电模式或由...
  • 本实用新型为阳极导电夹具,用于电镀设备,以夹持金属片,阳极导电夹具包含:圆形底盘,具有多个矩形孔,矩形孔的一侧连接具有弹性的第一翘起件;C型环,围绕于圆形底盘的边缘,C型环依序具有第一端部、环体部及第二端部,环体部固定于圆形底盘的边缘,...
  • 本实用新型提供一种气体喷嘴座,该气体喷嘴座包含具有主气道的本体,在该本体上还包含盖体,在该本体的侧边则具有至少一个副气道,该盖体具有至少一个导流结构以使流经该至少一个副气道的气流可在该本体上方形成气流壁。由此,利用喷嘴周围形成的气流壁可...
  • 本实用新型提供一种充气设备的气嘴结构,其与存放半导体组件或光罩的一储存匣连接,用以将气体导入或导出该储存匣,其包含:一管体部,于其顶部外围环设有一凹槽以供容置一弹性套圈,该管体部并具有贯穿该管体部顶端的三个各自独立的第一气体通道且连通贯...
  • 本实用新型提供一种用于置放储存匣的电子货架,应用于将该电子货架上储存匣的数据传送予一远程服务器,该电子货架包含:复数个置放区及复数个无线射频感应器,其中,每一置放区中皆设置一无线射频感应器,使得在线操作人员可直接将储存匣置放在电子货架上...
  • 本实用新型提供一种用于置放光罩储存盒的气体循环式电子货架,应用于将该气体循环式电子货架上光罩储存盒的识别数据传送予一远程服务器,该气体循环式电子货架包含:复数个置放区及复数个无线射频感应器,其中,每一置放区中皆设置一无线射频感应器,使得...
  • 本实用新型提供一种改进的喷嘴结构,包含喷嘴本体,此喷嘴本体包括上部、颈部及贯孔,其中,上部呈漏斗状并向下朝内逐渐内缩,颈部接续在上部并由上部向下延伸,贯孔贯穿上部与颈部。此外,上部并包含顶面,此顶面朝向贯孔凸伸有复数个凸缘,每一凸缘之间...
  • 本实用新型提供一种储存匣置放架,其用于轨道缓冲区(OHB)中,包含:一框架本体,组设成一容置空间,于其底部具有用于承载储存匣的一底座;至少三弹性组件,固设于该底座,该些弹性组件的排列构成单一平面;及至少三固定组件,分别固设于不同的弹性组...
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