和舰科技苏州有限公司专利技术

和舰科技苏州有限公司共有279项专利

  • 本实用新型公开了一种超纯净水罐更换工具,其包含结合部和供双手抓握的手持部,其中,结合部为包含第一开口和第二开口的“E”形板,其中,第一开口和第二开口的中心距离等于进水口和出水口的中心距离;第一开口和第二开口的宽度大于进水口颈部和出水口颈...
  • 本实用新型提供一种嵌入块,该嵌入块包括沿轴向依次设置的防腐蚀部、O型圈安装部以及基部,并且其中部包括贯穿防腐蚀部、O型圈安装部以及基部的开口,并且防腐蚀部、O型圈安装部以及基部沿轴向以台阶状形式逐渐增大。由于本实用新型的嵌入块包括从嵌入...
  • 依据本发明的一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置,气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统。侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置,其中,电压采集装置分别与机台主体和控制系统通信连接,并且电压采集装置定时采集机台主...
  • 一种晶背减薄方法及所使用的圆形治具
    本发明提出一种晶背减薄方法,其包括以下步骤:放置圆形治具、贴膜、切割胶带膜、晶圆背面研磨、晶圆移至卡盒、晶圆背面酸法蚀刻、撕膜、晶圆背面金属沉积。本发明还进一步公开了一种用于晶背减薄方法中的圆形治具,该圆形治具为中空环状结构,并分为上部...
  • 一种基于单片机的设备故障监控系统及方法
    依据本发明的一种基于单片机的设备故障监控系统,设备包含单片机及与单片机通信连接的至少一个电子元件,故障监控系统包含外壳和设置于外壳上的警报装置,其中单片机包含至少一个引脚,并且电子元件各自通过不同的引脚与单片机通信连接;警报装置通过导线...
  • 一种测漏装置
    本实用新型公开一种测漏装置,该测漏装置包括绝缘层外壳、一对电极端子以及导线。绝缘层外壳由耐高温的绝缘材料制成,绝缘层外壳一端为封闭结构并且在靠近封闭端的侧壁上开设有槽口。一对电极端子位于绝缘层外壳内并且一对电极端子彼此不接触,每个电极端...
  • 一种用于芯片失效分析中定位的背面观察基座及使用方法
    本发明提供了一种用于芯片失效分析中精确定位的背面观察基座,其包括金属支架,所述金属支架的中心设有中心孔,在该中心孔中安装有玻璃片,在所述玻璃片上还设置有用于提供基准坐标的两个特殊标记,所述两个特殊标记为蚀刻于或粘贴于所述玻璃片上的,其位...
  • 管路清理装置及清理管路的方法
    本发明提供一种管路清理装置,其包含清理工具、粉末接收管以及吸尘器。本发明还提供一种清理管路的方法,其包含以下步骤:(1)关闭泵,将待清理的真空管路与工作机台断开;(2)在待清理的真空管路尾端连接粉末接收管,将粉末接收管连接到吸尘器;(3...
  • 一种低温泵再生装置及方法
    本发明的低温泵再生装置,包括压缩气源、流量传感器、控制阀门、加热器以及继电器。其中,压缩气源、控制阀门以及加热器依次串联设置,加热器出口连接至低温泵的入口。流量传感器设置于压缩气源的出口与控制阀门之间的管路上,用于检测并显示管路中压缩气...
  • 一种具有自检功能的自动给料系统
    依据本实用新型的一种具有自检功能的自动给料系统,包括储料罐、液位传感器、以及通过供料管连接至储料罐的气动阀,其中储料罐中储存有将要提供至反应装置的液态原料;液位传感器设置于储料罐中,用于检测储料罐中的液位是否低于液位阈值;气动阀连接有C...
  • 一种具有自动吹气系统的机台
    本实用新型公开了一种具有自动吹气系统的机台,该具有自动吹气系统的机台包括剥离装置、工作台和自动吹气系统。自动吹气系统包括传感器、继电器、电磁阀、CDA管路和气嘴。本实用新型的具有自动吹气系统的机台能够在每一片晶圆撕膜完成后都对工作台进行...
  • 一种化学机械研磨机台用水压探测报警系统及其应用
    本发明提供一种化学机械研磨机台用水压探测报警系统,包含主体,其包括承载和清洗晶圆的平台、气动阀、气压管路和多个水压管路;平台具有探测平台上升和/或下降的位置的平台位置传感器;气动阀设置在至少一个水压管路上并同时与气压管路连接;水压管路连...
  • 一种低温泵再生装置
    本实用新型的低温泵再生装置,包括压缩气源、流量传感器、控制阀门、加热器以及继电器。其中,压缩气源、控制阀门以及加热器依次串联设置,加热器出口连接至低温泵的入口。流量传感器设置于压缩气源的出口与控制阀门之间的管路上,用于检测并显示管路中压...
  • 一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器
    本发明提供了一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器,具体地,在保证金属升降环与金属螺丝之间绝缘的陶瓷隔热片的螺丝孔处增加一圈圆柱形凸起,该带有凸起的陶瓷隔热片安装在金属升降环和金属螺丝之间,使金属升降环和金属螺丝完全隔离,...
  • 本实用新型提供了一种TC固定装置,其包括下卡块、与下卡块嵌合的上卡块,其中,在下卡块和上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔,且上卡块和下卡块是上下贯通的。由此,可通过向下卡块中插入紧固螺钉以将TC固定装置固定于TDMAT钢瓶上,将TC通过...
  • 本发明涉及半导体领域,尤其涉及一种低电阻沟槽型金属氧化物半导体场效应晶体管及其自对准工艺。本发明的低电阻沟槽型金属氧化物半导体场效应晶体管包含:基底,在其上依次设置有外延层、P-型阱、N+型阱,在所述外延层、P-型阱、N+型阱中具有作为...
  • 本实用新型的晶圆清洗装置,包括旋转盘、驱动机构、旋转轴、多个喷嘴以及多条输送管路,其中旋转盘上设置有晶圆固定支架,晶圆固定支架用于将晶圆水平固定于旋转盘上;驱动机构具有输出端,输出端通过旋转轴连接至旋转盘的中心,以带动旋转盘以及固定于旋...
  • 一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环
    本发明提供了一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环,包括夹具环本体和遮蔽部,所述遮蔽部成对地设置在所述夹具环本体的内边缘所在圆周直径的两端,所述夹具环内径为192.77mm-193.05mm,两个相对遮蔽部之间的遮蔽处内径为190.64...
  • 一种用于晶圆平坦化生产的化学机械研磨方法,包括如下步骤:提供一种化学机械研磨机;将待研磨的晶圆置入装载平台;晶圆进入第一研磨平台,使用第一选择比研磨液根据预定的研磨时间和研磨量进行研磨;晶圆进入第二研磨平台,使用第二选择比研磨液根据预定...
  • 一种减少晶边研磨颗粒残留的装置,包括氢氟酸酸槽、节流阀、机台化学柜、流量侦测器、第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头,其中,氢氟酸酸槽通过输送管线与机台化学柜连通,并且与氢氟酸酸槽连通的输送管线上设置有节流阀,机台化学柜与第一氢氟酸喷头以及...
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