本实用新型公开了一种超高真空用机械手导入装置，属于机械手领域，一种超高真空用机械手导入装置，包括真空箱和机械手，真空箱的内部设置有真空泵，真空泵的一端固定连接有出气管，真空泵的另一端固定连接有进气管，真空箱的内底面固定连接有工作箱，真空...

本发明提供了应用于逻辑芯片领域的一种逻辑芯片漏电失效分析剥离装置，本方案通过将漏电芯片放置于剥离槽中对其进行开帽，当暴露出部分引线时，利用防护打磨块上的限制槽扣住芯片并通过出胶孔向芯片表面加注树脂，利用树脂对引线进行固定，减少了在继续剥...

本申请公开了应用于压力测试领域的一种蓄冷器压力测试系统，该测试系统通过回收罐等装置的设置，被测管在测试结束后，打开泄压控制阀将被测管的内部的高压氮气通过泄压管导入回收罐的内部对氮气进行回收，避免了氮气的浪费，同时打开排水控制阀和水泵，关...

本实用新型公开了一种芯片表面划痕检测装置，属于芯片加工技术领域，一种芯片表面划痕检测装置，包括检查台，检查台上端左右两侧均固定连接有支撑柱，一对支撑柱靠近一侧固定连接有放大镜，一对支撑柱下侧均开设有通孔，一对通孔内部均横向插设有转杆，一...

本实用新型公开了一种具有防护结构的芯片剥离装置，属于芯片加工技术领域，一种具有防护结构的芯片剥离装置，包括剥离箱与芯片本体，剥离箱上端后侧开设有剥离通孔，剥离箱内部设置有转动连接的转轴，转轴外壁固定连接有一对主动齿轮，一对主动齿轮后侧设...

本发明公开了一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极，所述放电室的主体为圆柱形管状结构，且在绝缘套的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极，所述放电室的左右两端分别套接有...

本发明公开了一种空心阴极放电电极水冷装置,包括空心电极与箱体电极，所述空心电极为多层电极，且多层电极的主体为环绕成多层管状结构的多层电极管，且在多层电极管的两端分别设有进水口II与出水口II，所述进水口II与出水口II的外圆上均套设有密...

本发明公开了一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置,包括电极室、电极室内所设的固定架与固定架中间所插配的电极板，所述电极室为方型箱体结构，所述电极室的内壁上固定安装有固定架，所述固定架的左右两侧对称设有四条T型条状结构的竖直导轨；本发明...

本实用新型公开了一种电容耦合等离子体高分子材料表面处理装置，包括：等离子体表面处理真空室、前真空门、前观察窗、后真空门、后观察窗、上电容电极、下电容电极、进气接口、气体混合室、进气管路、进气室、进气缓冲挡板、材料放置架。本实用新型的一种...

本实用新型公开了一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，包括射频电感耦合等离子体反应装置，其特征在于，所述射频电感耦合等离子体反应装置包括：石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件，所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口，...

本发明公开了一种射频等离子体清洗装置，包括：进气装置、等离子体发生装置和真空室，其特征在于，所述进气装置包括进气混合管路、进气管路和进气阀，所述真空室包括腔体和调节导轨，所述等离子体发生装置包括电极接线柱、电极托盘和射频电源，所述腔体为...

本发明公开了一种中频等离子体清洗装置，包括：进气装置、等离子体发生装置、真空室、抽气管路，所述进气装置包括进气口、MFC质量流量计、电磁阀，所述等离子体发生装置包括正负电极和PWM脉宽调制电源，所述正负电极包含电极接线柱、电极安装板、电...

本实用新型公开了一种远程等离子体清洗装置，包括：进气装置、等离子体发生装置和真空室；所述进气装置包括混气室、进气管路和进气阀；所述等离子体发生装置包括电感耦合等离子体源和射频电源，所述电感耦合等离子体源包含石英管、铜制螺线管型线圈，所述...

本实用新型公开了一种等离子体清洗装置，包括进气装置、等离子体发生装置和真空室；所述进气装置包括进气管路、MFC质量流量计、电磁阀、气体混合室和匀气管路；所述等离子体发生装置包括正负电极和PWM脉宽调制电源，所述正负电极包含电极接入端、电...