合肥杰硕真空科技有限公司专利技术

合肥杰硕真空科技有限公司共有6项专利

  • 本实用新型公开了一种电容耦合等离子体高分子材料表面处理装置,包括:等离子体表面处理真空室、前真空门、前观察窗、后真空门、后观察窗、上电容电极、下电容电极、进气接口、气体混合室、进气管路、进气室、进气缓冲挡板、材料放置架。本实用新型的一种...
  • 本实用新型公开了一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置,包括射频电感耦合等离子体反应装置,其特征在于,所述射频电感耦合等离子体反应装置包括:石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件,所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口,...
  • 本发明公开了一种射频等离子体清洗装置,包括:进气装置、等离子体发生装置和真空室,其特征在于,所述进气装置包括进气混合管路、进气管路和进气阀,所述真空室包括腔体和调节导轨,所述等离子体发生装置包括电极接线柱、电极托盘和射频电源,所述腔体为...
  • 本发明公开了一种中频等离子体清洗装置,包括:进气装置、等离子体发生装置、真空室、抽气管路,所述进气装置包括进气口、MFC质量流量计、电磁阀,所述等离子体发生装置包括正负电极和PWM脉宽调制电源,所述正负电极包含电极接线柱、电极安装板、电...
  • 本实用新型公开了一种远程等离子体清洗装置,包括:进气装置、等离子体发生装置和真空室;所述进气装置包括混气室、进气管路和进气阀;所述等离子体发生装置包括电感耦合等离子体源和射频电源,所述电感耦合等离子体源包含石英管、铜制螺线管型线圈,所述...
  • 本实用新型公开了一种等离子体清洗装置,包括进气装置、等离子体发生装置和真空室;所述进气装置包括进气管路、MFC质量流量计、电磁阀、气体混合室和匀气管路;所述等离子体发生装置包括正负电极和PWM脉宽调制电源,所述正负电极包含电极接入端、电...
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