本实用新型提供了一种衬底分散机构，属于片体输送技术领域；作用于一由衬底组成的衬底组上，所述衬底分散机构包括：输送组件，所述输送组件的上方为一可容置衬底组的容置空间，且所述输送组件可承托一衬底组向第一方向运动；限位组件，所述限位组件分为两...

本实用新型提供了一种推板式衬底分散机构，属于片体输送技术领域；作用一衬底组上，所述推板式衬底分散机构包括：输送组件，所述输送组件包括：底板，为一板体，所述底板上具有一承托衬底组的容置空间；输送动力源，所述输送动力源连接并作用在所述底板，...

本实用新型提供了一种花篮自动检测机构，属于硅片加工设备技术领域；作用在花篮夹持部的齿间间隙上，包括：检测组件，所述检测组件包括：检测板，所述检测板包括：板主体；检测头，所述检测头连接在板主体上，且检测头相对于板主体具有至少一个活动自由度...

本实用新型涉及光伏技术领域，特别是涉及一种硅片解锁机构，所述硅片解锁机构包括：支架；解锁件，用于配合所述锁紧组件；驱动组件，安装于所述支架上；其中，所述驱动组件与所述解锁件连接，所述驱动组件用于驱动所述解锁件靠近所述锁紧组件，以使所述解...

本实用新型提供一种硅片周转机构，包括：料框，具有料槽以及出料口，料槽用于装载硅片，出料口与料槽连通，料槽内的硅片经出料口输送至插片机；设于料槽内的硅片夹紧组件，硅片夹紧组件包括：两根相对设置的第一转轴；两根第一转轴与料框转动连接；两个硅...

本实用新型请求保护的碎片检测机构，包括安装支架、设于安装支架上的旋转支座、驱动组件和感应器、及转动地安装于旋转支座的旋转件，旋转件包括碎片检测部和感应配合部，感应配合部对应感应器，其中碎片检测部和感应配合部直接或者间接连接，以使碎片检测...

本实用新型涉及半导体硅片生产用辅助装置的技术领域，特别是涉及一种厚片切割装置。该厚片切割装置包括基座，基座上开设有贯穿所述基座两端的过料口，且基座用于支撑晶托，晶托上具有多个厚片，基座上安装有互相连接的切割刀和驱动器，驱动器驱动切割刀切...

本实用新型涉及半导体加工辅助工具领域，特别是涉及一种复合夹爪。一种复合夹爪，包括连接本体、导轨机构及抓取机构，所述导轨机构及所述抓取机构分别连接于所述连接本体；所述抓取机构包括第一夹爪组件及第二夹爪组件，所述第一夹爪组件及所述第二夹爪组...

本实用新型请求保护的硅片到位检测装置，包括旋转驱动件、设于旋转驱动件的旋转部上的主安装盘、转动地连接于主安装盘的旋转盘、设于旋转盘上的检测摆杆和感应片、及感应传感器，检测摆杆在远离旋转盘的一端连接有硅片接触头，硅片接触头能够触碰硅片并通...

本实用新型公开了一种防重叠双位激光划片装置，包括中央控制器、防重叠取片机构、旋转放料机构、双位切割机构，防重叠取片机构、旋转放料机构均为十字型转台结构，能够保证电池片被送至双位切割机构下方不间断加工。防重叠取片机构主要包括防重叠装置，防...

本发明提供了一种衬底输送机构，属于片体输送技术领域；作用在浸于液体且成列放置的衬底组上，衬底输送机构包括：基座组件；输送组件，所述输送组件包括：主动轮；从动轮，从动轮和主动轮构成一输送框架；输送带，所述输送带设置在所述输送框架上，并沿输...

本发明涉及一种均分机构及脱胶装置，该均分机构及脱胶装置用于分散硅片，该均分机构包括喷射管和第二液泵。喷射管沿着长度方向设有均匀间隔分布的多个喷射孔。第二液泵通过管道连接喷射管，第二液泵能够朝喷射管内输送液体，并使液体从喷射孔朝向相邻的硅...

本发明涉及一种脱胶插片机及硅片加工方法，脱胶插片机包括料框、抓取机构、脱胶机构、解锁机构和插片机构。料框用于放置并夹持粘接有晶托的硅片，抓取机构用于抓取及转运料框或者晶托，脱胶机构用于对硅片进行脱胶处理，解锁机构用于解除料框对硅片的夹持...

本发明涉及一种脱胶装置，该脱胶装置包括脱胶槽、储酸槽和储水槽，储酸槽和储水槽均通过管道连通脱胶槽，脱胶槽和储酸槽之间的管道上设有第一控制组件，第一控制组件能够控制脱胶槽与储酸槽之间的通断；脱胶槽和储水槽之间的管道上设有第二控制组件，第二...

本发明提供一种硅片周转机构，包括：料框，具有料槽；支撑组件，包括至少一组第一夹紧组件，每组第一夹紧组件包括两个第一夹紧件，两个第一夹紧件分别安装在料槽相对两槽壁，且两个第一夹紧件能够相向或者相背运动，以夹持或释放晶托；第二夹紧组件，设于...

本实用新型公开了一种用于晶棒拼接的辅助顶升工装，该用于晶棒拼接的辅助顶升工装包括后支架、升降组件、滑块连接板、左线性滑轨、右线性滑轨、左支架、右支架、滚轮、左弹簧、右弹簧。升降组件的作用是带动滑块连接板、左支架、右支架升降，为晶棒顶升提...

本实用新型公开了一种用于一抓多的旋转手爪装置，本实用新型包含一抓多手爪、驱动装置、视觉装置，其中所述一抓多手爪与驱动装置相连，所述驱动装置安装在机械手上，所述视觉装置位于被吸取物检测区域的上方或下方，两者相距一定空间间距，一抓多的手爪装...

本发明涉及硅片加工技术领域，特别是涉及硅片输送分散装置。硅片输送分散装置包括传送组件，传送组件能够对于硅片进行传送；夹紧组件，夹紧组件设于传送组件的两侧，夹紧组件和传送组件之间形成能够容置硅片的容置区，夹紧组件能够夹紧并传送硅片；及，喷...

本实用新型公开了一种用于单晶硅棒包装的自动找正盖盖板机构，包括框架组件、自动找正组件、真空吸盘组件、气缸夹紧组件、气缸归正组件、到位感应组件，其中框架组件是主要的安装支撑组件，气缸归正组件的作用是把盖板定位到框架组件的中间位置，到位感应...

本发明公开了一种基于模板匹配的机器人空间定位抓取控制方法。该方法包括采集多张标定板图像和对应的机器人末端位姿信息，对视觉定位控制系统进行标定；采集特制标识图像创建待匹配模板；计算抓取位与特制标识间的相对位姿；机器人视觉定位控制系统对采集...