本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。

本发明涉及在包括电子发射源和透镜的电子柱结构中使用附着有一个 或多个碳纳米管(CNT)的电子发射源的电子柱。更具体地，本发明涉及容 易地对准碳纳米管(CNT)针尖的方法以及能够使用该方法的电子柱。

在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子 束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔 排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。

本发明涉及一种用于微柱的电子透镜，并且更为具体地涉及一种多极电子透镜，其中所述电子透镜包括两个或更多个电极层，每一电子层具有从电子束沿其通过的中心光轴延伸的狭缝，且所述两个电极层在电子光轴上对准，以使得所述狭缝相互错开。进一步，本发明涉...

本发明涉及一种具有纳米结构针尖的电子发射体，以及使用该电子发射体的电子柱。具体而言，涉及一种电子发射体，其包括可容易地发射出电子的纳米结构针尖，该纳米结构针尖由纳米碳管（ＣＮＴ）、氧化锌纳米管（ＺｎＯ纳米管）、氧化锌纳米棒、氧化锌纳米柱...

本发明主要涉及一种用于生成电子束的微柱的偏转器，并且尤其涉及一种能够使用磁场来对电子束进行扫描或偏移、或用作象散校正装置的偏转器。根据本发明的偏转器（１００）包括一个或多个偏转器电极。所述偏转器电极中的各个偏转器电极包括由导体或半导体制...

本发明公开了一种用于利用电子束检查半导体器件的通孔的装置和方法。该装置包括电子束辐射装置、电流测量装置和电流测量装置和数据处理装置。电子束辐射装置照射相应的电子束以检查多个检查对象孔。电流测量装置通过位于孔下面的导电层或通过导电层和单独...

一种微柱捕获器，其特征是，包括：能够使电子发射源发射的电子束中的电子入射并且电传导的多个探测区域；由截断电流的绝缘体或减少电子流动的低掺杂半导体形成，并分割上述探测区域的绝缘部。

公开了一种用于为电子柱维持不同真空度的装置，该装置用于将电子柱和样品保持在不同的真空度下，所述电子柱包括电子发射器、透镜部件和用于固定电子发射器、透镜部件的壳体。所述装置包括：柱壳体连接部，所述柱壳体连接部连接到壳体以隔离真空；中空部，...

本发明提供了一种制造具有多个微透镜和多个在所述微透镜之间交替间隔的绝缘层的微柱的透镜部件的方法。所述方法包括通过将绝缘层（１０１）和微透镜（１０２）阳极接合在一起而形成至少一个第一微透镜部件组（ｓｅｔ＿１）；将第二微透镜部件组（ｓｅｔ＿...

提供了一种控制多微柱中的电子束的方法，其中具有电子发射器、透镜以及偏转器的单元微柱被排列在ｎ×ｍ矩阵中。电压被均等或者不同地施加给各个电子发射器或者吸引器。相同的控制电压或者不同电压被施加给各个吸引器的控制划分区域中的坐标区域从而偏转电...

提供了一种扫描场发射显示器（ＳＦＥＤ）。所述ＳＦＥＤ包括电子发射器和模块，所述模块用于引发所述电子发射器的电子发射并且偏转电子束。多ＳＦＥＤ可以通过排列在ｎ×ｍ阵列中而实现为大尺寸的薄的平板显示器。

本发明提供了一种使用微柱的便携式电子显微镜。该便携式电子显微镜包括：微柱；低真空泵；高真空泵；超高真空泵；第一腔，其用于容纳和固定所述微柱和待测样本，并通过上述多个泵形成真空；控制器；和用于容纳上述多个泵、所述腔和所述控制器的壳体。

本发明提供了一种用于电子柱的运动设备，该运动设备提供了发射电子束的电子柱与其上照射电子束的样本之间的相对运动。该运动设备包括：用于将电子束发射到样本上的多微柱；用于支撑该多微柱的支架；以及用于驱动该支架以移动该多微柱的驱动装置。

本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所...

在传统的微通道板（ＭＣＰ）、二次电子（ＳＥ）检测器或半导体检测器中，通过其自身结构来放大电子的数量。对于这样的放大，从外部施加了微小的电压差，或者由于其自身结构和材料而产生微小的电压差。通过外部放大电路来放大经过上述处理的电子的电流。在...

本发明涉及一种有效改变产生电子束的电子柱中的电子束的能量的方法。该方法包括以下步骤：向电极额外地施加电压，使得所述电子束最终具有所期望的能量，从而当所述电子束到达样本时，能够自由地控制所述能量。

本发明涉及用于在产生电子束的电子柱中改善聚焦的方法。根据本发明的用于控制电子束的聚焦的方法减小了当电子束到达试件时该电子束的光斑大小，从而能够提高分辨率并能够减小半导体光刻处理中的图案的线宽，由此能够改善电子的性能。

本发明提供一种利用微柱检验精细图案和形态的检验设备。本发明的检验设备可对不能利用传统光学检验设备进行检验的精细电路进行检验。此外，本发明可快速检验面积相对较大的显示器，并可具有精确检验功能和修复功能。本发明的检验设备包括多个微柱、结合有...

本发明提供一种具有简单结构的微柱。本发明涉及一种包括电子发射源和透镜的电子柱，更具体地涉及一种具有可便于对准和组装电子发射源和透镜的结构的电子柱。根据本发明的具有电子发射源和透镜单元的电子柱的特征在于：所述透镜单元包括两个以上的透镜层，...