一种真空预清洁装置及形成方法、真空预清洁装置的使用方法，真空预清洁装置包括：腔壁，与所述腔壁连接的电源连接结构；载台，所述载台具有承载面，所述载台与所述腔壁固定连接；位于所述载台边缘和所述腔壁之间的挡板，所述挡板分别与所述腔壁和所述载台...

本实用新型提供一种管路结构，包括：输入单元，包括第一输入单元和第二输入单元；储存单元，与所述输入单元连接；第一通路，连接所述第一输入单元与所述储存单元；过滤单元，位于所述第一通路；第二通路，连接所述第二输入单元与所述储存单元；调节单元，...

一种晶圆研磨设备，包括：外壳体和设置于所述外壳体内、适于对晶圆进行研磨的研磨机构；所述外壳体包括环绕研磨机构的多个侧壁，其中至少一个所述侧壁上设有门，所述门的边沿与所述侧壁之间形成缝隙，所述外壳体还包括挡片，所述挡片的一端设置于所述门或...

本公开涉及图像传感器及其形成方法。一种用于形成图像传感器的方法，包括：提供衬底，该衬底包括具有第一掺杂类型的有源区；以及在有源区之上形成至少一个光电二极管，每个光电二极管包括具有第一掺杂类型的第一区域和具有第二掺杂类型的第二区域，第二区...

一种图像传感器及其形成方法，所述图像传感器的形成方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底的表面形成网格状的格栅结构，所述格栅结构具有多个格栅开口；在至少一个格栅开口内形成包含有非白光滤色镜与白光滤色镜的堆叠滤色镜。本发明方案可以降低光...

本申请提供一种沟槽隔离结构及其形成方法、图像传感器，所述沟槽隔离结构包括：半导体衬底，包括若干像素单元区域；第一沟槽，形成在所述像素单元区域中，相邻第一沟槽之间的距离与入射光在所述相邻第一沟槽之间的半导体区域的反射率相关，所述入射光在不...

一种封装护膜以及半导体器件的封装方法，所述封装护膜包括：堆叠的第一子膜以及第二子膜，所述第一子膜的背面与所述第二子膜的正面相对且互相粘贴；其中，所述第一子膜的正面具有粘性；所述第一子膜具有多个中空的孔洞。本发明方案可以在剥离封装护膜时，...

本发明提供一种检测装置、离子植入设备及离子束剖面的离子浓度分布的可视化方法，检测装置用于检测离子束剖面方向的离子浓度分布，包括：检测屏，所述检测屏能够接收所述离子束辐照的一侧涂布有磷光材料；和处理器，与所述检测屏电性连接，能够根据所述磷...

本发明涉及一种冷却水自动调节系统，包括：第一温度传感器，其布置在待冷却部件的区域中以用于测量所述待冷却部件的第一温度，其中所述待冷却部件能够通过冷却水被冷却；自动阀，其布置在冷却水的流动路径上，其中所述自动阀被配置为根据来自控制器的调节...

本申请涉及摄像头技术领域，具体地涉及一种摄像头模组封装结构及其制作方法。所述摄像头模组封装结构包括：电路板，所述电路板包括第一表面和第二表面；固定连接的传感器芯片和滤光片，其中，所述传感器芯片的背面形成有焊块，所述传感器芯片的正面正对所...

本申请公开了一种图像传感器及其制造方法。所述图像传感器包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底内的多个感光器件；位于所述半导体衬底内的隔离结构；以及位于所述半导体衬底上的多个滤光层，所述多个滤光层与所述多个感光器件在位置上一一对应并包括至少...

本申请提供一种图像传感器及其形成方法，所述图像传感器包括：半导体衬底，所述半导体衬底内形成有分立排列的光电器件；沟槽隔离结构，形成于所述半导体衬底中且位于所述光电器件之间；第一浮置扩散区和第二浮置扩散区，形成于所述光电器件上的半导体衬底...

一种存储器及其形成方法，结构包括:衬底，所述衬底内具有相邻的第一阱区和第二阱区，所述第一阱区和第二阱区的掺杂类型相反；位于第一阱区和第二阱区内的第一沟槽，且所述第一沟槽自第一阱区延伸至第二阱区；位于所述第一沟槽内的字线栅极结构；位于所述...

本申请涉及半导体技术领域，具体地涉及一种晶圆键合结构以及晶圆键合方法。所述晶圆键合结构包括：第一晶圆，所述第一晶圆的第二面形成有对称分布的第一键合结构和对称分布的第一辅助键合结构；第二晶圆，所述第二晶圆的第一面形成有对称分布的第二键合结...

本申请公开了一种半导体结构的形成方法，该方法包括：在半导体衬底上形成第一栅极结构和第二栅极结构；在半导体衬底以及第一栅极结构和第二栅极结构的表面形成第一介电层；在第一介电层的表面形成第一层间介质层；在第一栅极结构和第二栅极结构之间形成第...

一种光学邻近修正方法，包括：提供目标光刻图形，所述目标光刻图形包括相邻的第一子目标光刻图形和第二子目标光刻图形；对所述目标光刻图形进行第一光学邻近修正，得到与所述目标光刻图形对应的第一修正图形，以及与所述第一修正图形对应的第一模拟光刻图...

本申请提供一种变焦镜头，包括：密封腔体；液体透镜或者气体透镜，所述液体透镜或者气体透镜设置于所述密封腔体中；气压调节装置，所述气压调节装置与所述密封腔体密封连接，用于调节所述密封腔体内的气压。所述的变焦镜头，不仅能实现镜头变焦的目的，还...

本实用新型公开了一种潜望式变焦镜头、成像模组及电子装置，该潜望式变焦镜头包括光路整合元件，其包括光路整合元件，具有至少一个反射镜面；以及变焦透镜组，包括有沿同一光轴依次布置的多个变焦透镜；其中，入射光被至少一个所述反射镜面反射并汇聚后定...

本实用新型提供了一种湿法清洗机台的输液系统，属于机械设备领域。该输液系统包括：第一进料管、第二进料管、混合箱、混合液输送管、温度控制单元和喷嘴，其中，第一进料管和第二进料管均与混合箱连接，混合液输送管的输入端与混合箱连接，混合液输送管的...

本实用新型提供了一种离子注入系统，包括：托盘、挡板和离子束检测单元，由于所述托盘的边缘区域设有多个呈环状分布的开孔，故对晶圆进行离子注入时，离子束可穿过所述开孔被所述挡板上的所述离子束检测单元检测到，若离子束发生偏移，则在托盘沿与所述第...