一种泻流单元，包括：熔罐，用来容纳蒸发或升华的材料；输送管，被配置为将蒸发或升华的材料从所述熔罐输送至所述泻流单元之外并进入到室中；供给管，从所述熔罐延长，所述供给管被定位并配置为捕捉源自所述蒸发或升华的材料的冷凝物，并将所述冷凝物送回...