本发明公开了一种掩膜版精度测量方法及系统，涉及半导体技术领域，解决了现有的掩膜版精度测量易受异常点位影响、测量区域小的问题，方案要点是：从待测量区域选择多个点位，获取各个点位的测量数据和设计数据；根据测量数据构建测量矩阵，根据设计数据构...

本实用新型公开了一种半导体掩膜版倒角打磨装置及打磨平台，以解决现有打磨过程中因人手持掩膜版导致打磨效果不足且具有安全隐患的问题，其包括打磨机、升降机构、第一导向件和第二导向件；升降机构与打磨机连接；第一导向件与升降机构连接且具有第一工作...

本实用新型公开了一种可调尺寸的铬版制程夹具，涉及铬板制程技术领域；包括：横向导轨，平行设置有两根；纵向导轨，平行设置有两根，各所述纵向导轨的两端部与对应的所述横向导轨相连，且两所述纵向导轨的间距能够调节；定位部，上端设置有用于容纳铬版角...

本实用新型公开了一种贴膜产品搬运装置，包括：车身主体，所述车身主体上设有立柱；悬臂，所述悬臂上连接有上卡爪和下卡爪，上卡爪位于所述下卡爪的上方；所述悬臂底部与所述立柱铰接，所述立柱上连接有第一导向板，所述悬臂的下部连接有第二导向板，所述...

本实用新型公开了一种掩膜版上光学膜对中性测量装置，以解决采用接触式测量方式时光学膜对中性测量结果可靠度不高且容易对光学膜造成破坏的技术问题，该测量装置包括定位框体和数显传感器；所述定位框体具有定位部，所述定位部具有相互垂直的第一定位面和...

本实用新型涉及半导体掩膜版制造技术领域，公开了一种掩膜版脱膜清洗装置，包括：脱模槽，所述脱模槽内连接有用于支撑产品的支架；液体输送单元，用于向支架上的产品喷洒脱模液；及驱动单元，所述驱动单元包括电机和转盘，所述电机的输出轴与所述转盘连接...

本实用新型公开了一种IC掩膜版贴膜装置，属于半导体技术领域，本实用新型包括：底座；固定组件，连接于底座上，所述固定组件上设置有固定平台，所述固定平台具有用于固定光学膜的容纳槽；压合组件，所述压合组件具有若干用于压合掩膜版的压合柱，压合组...

本实用新型公开了一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，涉及掩模板制造技术领域，用于使G10代掩膜版自动测量机兼容小尺寸掩膜版，包括基板和安装在基板表面的限位件，基板靠近长边的基板板面上分别设有第一限位孔组和第二限位孔组，基板靠近短边的基...

本实用新型公开了一种用于掩膜版的洗边装置，涉及掩膜版清洗工具技术领域，包括支撑主体和旋转组件，支撑主体上设置有可滑动的喷头组件，该旋转组件用于驱动掩膜版转动，旋转组件包括驱动电机和支撑平台，驱动电机可滑动地设置在支撑主体上，支撑平台与驱...

本实用新型公开了一种用于半导体掩膜版磨边的装置，包括连接组件和打磨机构，连接组件包括连接机构、底座和机架，机架连接于底座上，连接机构一端连接于机架上部，另一端连接打磨机构；打磨机构包括机架本体、砂带和掩膜版装载治具，掩膜版装载治具上部设...

本实用新型公开了一种用于清洁掩膜版薄膜的刷具，以解决相关技术中采用氮气枪进行掩膜版薄膜清理时有微粒残留的问题。包括附带静电的毛刷、毛刷座和持取件；毛刷座与毛刷连接；持取件与毛刷座连接。本实用新型通过将毛刷设置为带静电的毛刷，可以通过静电...

本实用新型公开了一种适用于掩模板清洗设备的装载装置，涉及掩膜版生产技术领域，用于安装在掩模板清洗设备内的传动机上，包括装载环、滑动夹持组件和传动连接件，装载环内设有中心板块，中心板块通过多个连接条固定在装载环的内部；滑动夹持组件设置在连...

本实用新型公开了一种用于掩膜版清洗毛刷的清洁装置，涉及掩膜版清洗工具技术领域，包括清洗主体和辅助清洗线，该清洗主体设置有容纳槽，容纳槽设置有进水口，容纳槽底部还安装有超声波振动装置；辅助清洗线的端部可拆卸地设置在容纳槽的内侧壁上，辅助清...

本实用新型公开了一种掩膜版自动制程装置，属于半导体掩膜版制造技术领域，用以替代人力进行掩膜版的制作，该装置包括制程槽、横梁和夹具；横梁与制程槽活动连接，横梁配置有动力机构；夹具可拆卸连接于横梁，用于夹持掩膜版；工作状态下，横梁在动力机构...

本实用新型公开了一种掩膜版涂胶机多功能自动转盘，包括转盘主体和盖体。所述转盘主体具有内腔，所述盖体用于活动盖设在所述转盘主体表面，并与所述转盘主体的内腔之间形成储放空间。所述储放空间内设置有真空载物台与至少一组固定组，所述真空载物台形成...

本实用新型公开了一种药液桶搬运装置，包括行驶部和所述行驶部上的框架，所述行驶部包括行驶板，所述行驶板上连接有两个立柱，两个所述立柱之间架设有第二滑轨，所述第二滑轨上设有可受控沿所述第二滑轨延伸方向移动的夹持机构，所述夹持机构上设有与药液...

本实用新型涉及半导体掩膜版制造技术领域，公开了一种IC用掩膜版半自动滴胶装置，包括：光刻胶瓶体，所述光刻胶瓶体用于盛放光刻胶；过滤组件，用于对所述光刻胶里的大颗粒杂质进行过滤，所述过滤组件的输入口与所述光刻胶瓶体通过出液管连通，所述过滤...

本实用新型公开了一种用于掩膜版存储箱的静电消除装置，包括储液管、传液管、具有吸水性的滚筒和用于向滚筒渗透防静电液的供液管，储液管的一端与传液管连接，供液管与传液管可拆卸连接，滚筒套装在供液管上，用于向掩膜版涂覆防静电液所述供液管的表面分...

本实用新型公开了一种半导体掩膜版搬运装置，包括基座、第一滑块、第二滑块、第一夹持爪和第二夹持爪，所述基座的前端面设置有与所述前端面平行的第一滑轨，第一滑块和第二滑块均与所述第一滑轨可滑动连接，所述第一夹持爪与所述第一滑块固定连接，所述第...

本实用新型公开了一种适用于高世代掩膜版包装箱的清洗装置。解决了掩膜版的包装箱因人工清洗带来的清洗效率较低的问题，本实用新型包括底座、第一立柱、第二立柱和清洗组件；第一立柱与底座连接，第二立柱与底座通过第二直线模组连接，在第二直线模组的带...