陈柏颖专利技术

陈柏颖共有2项专利

  • 一种材料低温优化方法及其装置,主要是在一密闭的本体单元内盛装预定量的超临界流体,配合在本体单元内设置一电极单元,电极单元包括一用以承载一待处理材料的正电极件,及一负电极件,且分别电连接一供电单元的正极与负极,借此不但可利用超临界流体溶解...
  • 本发明是有关于一种适用于纳米工艺的晶圆及其制造方法,其包含一第一退火步骤、一第一沉积步骤、一注入步骤,及一第二退火步骤。该第一退火步骤是以高于650℃的温度对一晶圆进行退火处理以在该晶圆表面形成一高质量硅层。该第一沉积步骤是在退火后的晶...
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