一种输送设备，包括壳体、安装到所述壳体的驱动器以及连接到所述驱动器的至少一个输送臂，其中，所述驱动器包括：至少一个转子，其具有导磁材料的至少一个凸极，并且设置在隔离环境中；至少一个定子，其具有至少一个凸极，并且设置在所述隔离环境外，所述...

一种便携式低温工作站包括：具有被构造成保持一个或多个样本的内部腔的壳体；盖子，其用于密封内部腔，使得便携式低温工作站被构造成用于在大约室温环境到大约超冷环境之间运输样本；至少一个自动化装置接口，其被安置在壳体和盖子中的一个或多个上且被构...

一种运输设备，其包括框架；连接到所述框架的驱动部段，所述驱动部段具有至少一个驱动轴线；至少一个臂，其具有构造成用于保持衬底的端部执行器，所述至少一个臂通过传动连杆连接到所述驱动部段并且具有实现所述端部执行器相对于所述至少一个臂延伸和缩回...

一种装载端口具有端口门和带开口的框体，所述端口门通过所述开口与用于保持半导体工件的容器的容器门进行交接。在一个实施例中，活动的关闭机构连接到端口门并且限定成相对于端口门和框体两者能够以受控的方式活动。在此实施例中，静止的关闭机构设置在框...

一种传送设备包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线；线性轨，其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，其被每个臂分享并...

一种电机包括：密封的转子，其具有至少一个凸出的转子磁极；以及定子，其包括至少一个凸出的定子磁极，所述至少一个凸出的定子磁极具有与之相关联的励磁绕组，并且与所述至少一个凸出的转子磁极对接，以在所述至少一个凸出的定子磁极和所述至少一个凸出的...

一种可变磁阻马达负载绘制设备包括：框架；界面，所述界面设置在构造用于安装可变磁阻马达的框架上；静态负载单元，所述静态负载单元安装至所述框架并且联接至所述可变磁阻马达；以及控制器，所述控制器可通信地联接至所述静态负载单元和所述可变磁阻马达...

根据所公开的实施例的一个或多个方面，提供了一种半导体处理设备。所述半导体处理设备包括：形成可密封室的框架，所述可密封室具有纵向轴线和在所述纵向轴线两侧的横向侧，所述可密封室配置成在所述可密封室中保持密封的环境；至少一个输送模块，其安装至...

一种衬底处理设备，包括：限定腔室的框架，其具有限定在其中的衬底运送开口和衬底转移平面；阀，其安装到框架上，并且构造成在关闭时密封腔室的气氛，阀具有门，门可移动地设置成打开和关闭衬底运送开口；以及至少一个衬底传感器元件，其设置在门的侧部上...

一种基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机，用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆，所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子，所述定子具有定子线圈...

衬底运送系统包括：载体，其具有壳体以及门，壳体形成内部环境，内部环境具有开口，以保持至少一个衬底，门用于将开口与外部气氛密封开，其中在被密封时，内部环境构造成保持其中的内部气氛，壳体包括流体贮存器，其在内部环境的外部且构造成容纳流体，从...

一种托盘发动机，包括竖直驱动柱，用于旋转竖直驱动柱的旋转机构，和附连到竖直驱动柱的末端执行器。末端执行器包括附连到竖直驱动柱的末端执行器底座。末端执行器进一步包括滑动件，其被附连到末端执行器底座以支撑托盘，当出现时。滑动件能使托盘沿着末...

访问仲裁模块包括用于与多个有源组件进行通信的多个有源组件通信端口，并且包括用于与无源组件进行通信的无源组件通信端口。访问仲裁模块还包括切换逻辑，所述切换逻辑被定义为控制所述多个有源组件通信端口中的每一个与所述无源组件通信端口之间的访问通...

一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备，所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括：驱动部段；以及至少一个基部臂，所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可...

一种用于输送基底的基底输送设备，该基底输送设备包括框架、连接到框架上的至少一个传递臂、安装到至少一个传递臂的至少一个末端执行器，和设置在至少一个末端执行器上的至少一个基底支承垫，至少一个基底支承垫具有下列构造，该构造沿至少一个预定方向实...

一种基底处理系统包括：至少两个垂直地堆叠的运输室，每个垂直地堆叠的运输室包括布置为形成被配置用于耦合到垂直地堆叠的处理模块的开口的垂直堆的多个开口，至少一个垂直地堆叠的运输室包括至少一个运输室模块，所述至少一个运输室模块被布置用于耦合到...

基板加载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成保持受控制的环境；以及传送机器人，其连接到框架；以及，一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于框架中的基板盒保持架。一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成在可与传送机器人连通的预定位...

用于机器人操纵器的时间最佳轨迹生成方法，该机器人操纵器具有运送路径，该运送路径具有至少一个路径节段，该方法包括沿该至少一个路径节段从该至少一个路径节段的起点朝该至少一个路径节段的终点生成该操纵器的向前时间最佳轨迹，沿该至少一个路径节段从...

一种基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机，用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆，所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子，所述定子具有定子线圈...

一种传输基板的系统与方法包括加载端口系统包括：框架、关节臂、微环境、与在框架中基本上对中的塔。该塔包括多个马达，其中第一马达机械联接至该微环境以垂直移动该微环境，及第二马达机械联接至该关节臂以竖直移动该关节臂。塔壳也含括于其中。该塔壳粉...