布鲁克斯自动化公司专利技术

布鲁克斯自动化公司共有84项专利

  • 在传输中自动晶圆定中方法及设备
    一种基底处理设备,基底处理设备包括:具有传输臂的晶圆传输设备,传输臂包括端部执行器;臂姿态确定性特征,臂姿态确定性特征与基底传输设备构成整体并且被设置为使得基底处理设备的静态检测传感器在传输臂径向运动的情况下在传输中检测至少一个臂姿态确...
  • 基底传输设备
    一种传输设备,包括连接至框架的驱动器区段和多驱动器轴主轴,多驱动器轴主轴具有至少一个同轴的轴主轴,设置成堆体的多于一个不同的可互换马达模块,其分别具有可操作联接至其的马达并且限定对应的独立驱动器轴线,以及罐形密封件,罐形密封件设置在每个...
  • 自动化储库模块
    本发明提供了低温储存系统,该低温储存系统提供样品在低温环境中的自动化储存与取回、以及单独样品在低温环境之间的自动化转移。储存的样品被维持在低温温度阈值下、同时还能够触及这些样品。可以通过扫描各个样品的条形码来规整并跟踪这些样品。实施例还...
  • 基板处理设备
    一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备,所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括:驱动部段;以及至少一个基部臂,所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可...
  • 低温冷冻机
    一种可配置的低温储存设备,具有冷冻机(120)以及位于该冷冻机内的架承载器。该冷冻机包括轴承(733)以及穿过该冷冻机的传动轴(231),该传动轴联接到位于该冷冻机内的架承载器上并且被适配成用于联接到电机组件上。该架承载器在手动旋转配置...
  • 用于传送托盘的托盘发动机
    一种托盘发动机,包括竖直驱动柱,用于旋转竖直驱动柱的旋转机构,和附连到竖直驱动柱的末端执行器。末端执行器包括附连到竖直驱动柱的末端执行器底座。末端执行器进一步包括滑动件,其被附连到末端执行器底座以支撑托盘,当出现时。滑动件能使托盘沿着末...
  • 自动低温储存系统
    一种自动低温储存系统包括冷冻器(120)和自动化系统,该自动化系统用于提供样品去往和离开该冷冻器的自动转移。该冷冻器包括轴承和穿过该冷冻器的驱动轴,该驱动轴被联接到位于该冷冻器内部的架承载器上并且被适配成用于联接到电机上。该自动化模块包...
  • 封管机
    一种用于密封样本管的设备包括:工具组件,所述工具组件构造为与保持多个样本存储管(20)的架子(10)相接,工具组件保持多个冲头(322),冲模板(324)包括多个切割孔,多个切割孔中的每个接收所述多个冲头(322)中的一个冲头。工具组件...
  • 用于密封环境的位置反馈
    一种输送设备包括:壳体;安装到壳体的驱动器;连接到驱动器的至少一个输送臂,驱动器包括:至少一个转子,其具有磁导性材料的至少一个凸极且安置于隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极和相对应的线圈单元且安置于隔离环境外,至少一个定子的至...
  • 工具自动教导方法和设备
    一种用于自动教导基板站位置的基板运输设备自动教导系统,所述系统包括:框架;基板运输器,所述基板运输器连接至所述框架,所述基板运输器具有被构造成支撑基板的末端执行器;以及控制器,所述控制器被构造成使所述基板运输器移动,使得所述基板运输器抵...
  • 晶片对准器
    一种半导体晶片输送装置包括:框架;输送臂,其可移动地安装到所述框架,并且具有可移动地安装到所述臂的至少一个末端执行器,使得所述至少一个末端执行器与所述臂作为一个单元相对于所述框架沿第一方向横向运动,并且相对于所述输送臂沿第二方向线性横向...
  • 一种基板处理装置,其包括:具有串联连接的臂链路的运输臂,所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度;至少第一滑轮和第二滑轮,其中,第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路;以及至少一个扭矩传递带,其在第一滑轮和第二滑轮之间纵向地延伸...
  • 基板运输设备
    本发明提供了一种基板运输设备,包括:框架;上臂,所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述框架;前臂,所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂,其中,所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的堆叠式前臂部;以及独立堆叠式末端效应器,所述独立堆叠式末端效应器...
  • 密封式机器人驱动器
    一种输送设备,包括壳体、安装到所述壳体的驱动器以及连接到所述驱动器的至少一个输送臂,其中,所述驱动器包括:至少一个转子,其具有导磁材料的至少一个凸极,并且设置在隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极,并且设置在所述隔离环境外,所述...
  • 一种便携式低温工作站包括:具有被构造成保持一个或多个样本的内部腔的壳体;盖子,其用于密封内部腔,使得便携式低温工作站被构造成用于在大约室温环境到大约超冷环境之间运输样本;至少一个自动化装置接口,其被安置在壳体和盖子中的一个或多个上且被构...
  • 一种运输设备,其包括框架;连接到所述框架的驱动部段,所述驱动部段具有至少一个驱动轴线;至少一个臂,其具有构造成用于保持衬底的端部执行器,所述至少一个臂通过传动连杆连接到所述驱动部段并且具有实现所述端部执行器相对于所述至少一个臂延伸和缩回...
  • 一种装载端口具有端口门和带开口的框体,所述端口门通过所述开口与用于保持半导体工件的容器的容器门进行交接。在一个实施例中,活动的关闭机构连接到端口门并且限定成相对于端口门和框体两者能够以受控的方式活动。在此实施例中,静止的关闭机构设置在框...
  • 一种传送设备包括:框架;连接到所述框架的多个臂,每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线;线性轨,其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂;以及公共驱动轴线,其被每个臂分享并...
  • 一种电机包括:密封的转子,其具有至少一个凸出的转子磁极;以及定子,其包括至少一个凸出的定子磁极,所述至少一个凸出的定子磁极具有与之相关联的励磁绕组,并且与所述至少一个凸出的转子磁极对接,以在所述至少一个凸出的定子磁极和所述至少一个凸出的...
  • 一种可变磁阻马达负载绘制设备包括:框架;界面,所述界面设置在构造用于安装可变磁阻马达的框架上;静态负载单元,所述静态负载单元安装至所述框架并且联接至所述可变磁阻马达;以及控制器,所述控制器可通信地联接至所述静态负载单元和所述可变磁阻马达...