提供在使用磁轴承的悬浮系统中、运转效率良好、且能够安全地从振荡等异常状态恢复、异常的误检测较少且可靠性较高的磁轴承装置及真空泵。具备：磁轴承，将旋转体以磁力悬浮支承在空中；以及磁轴承控制器，对磁轴承进行控制；具备：第1异常检测机构，基于...

提供一种在使用磁轴承的悬浮系统中能够高灵敏度地测定旋转体的固有振动模式的磁轴承装置及真空泵。在步骤1中，开始第二运转模式的运转。在步骤3中，控制器7的增益比第一运转模式时的增益增大。在步骤5中，在该状态下测定固有振动频率。作为测定对象的...

本发明提供适于装配作业的支援的构造的真空泵、其装配方法及用于其装配的夹具。真空泵(1)具备与用于密封部件(L)的轴向高度调整的夹具(Q)抵接的抵接部(R)。与旋转体(103)的外周对置地配置泵固定零件(J)的真空泵装配时，在将泵固定零件...

提供一种通过将旋转体使用交流磁场加热、也包括旋转体的停止时而防止生成物的附着、此外能够实现加热所需要的消耗电力的效率化的真空泵。在保护轴承(1)与上侧径向传感器(107)之间，隔着旋转体(103)对置而配设有2极的加热用电磁铁(3A)和...

得到适当地进行气体流路的温度管理并减轻起因于温度管理的气体流量的限制的真空泵。冷却管(305)进行气体流路的温度调整。温度传感器(401)被配置在与冷却管(305)相比靠近气体流路的位置；温度传感器(402)被配置在与气体流路相比靠近冷...

提供一种能够正确地检测三通阀的内部泄漏并且能够抑制排气气体向旁通线路的泄漏的气体处理系统

提供一种能够降低在旋转体与旋转轴的结合部位产生的应力的真空泵。具备旋转体(103)，所述旋转体(103)在旋转叶片形成部(217)的外周具有旋转叶片(102b、102c)，且被螺栓(214)紧固于转子轴(113)，能够与转子轴(113)...

本发明的目的是得到不因为气体吸附物体而增大轴向的进气口的长度地配置气体吸附物体的涡轮分子泵。该涡轮分子泵在壳体(外筒(127))内具备转子部及定子部。而且，该涡轮分子泵在其定子部或壳体具备吸气剂泵部，此外具备进行该吸气剂泵部中的气体吸附...

提供一种即使在旋转叶片万一损坏的情况下旋转叶片的碎片也不易从排气口飞散的真空泵。一种真空泵(100)，具备绕铅直轴(CL)旋转的旋转叶片(103)和收容旋转叶片的壳体(127)，通过旋转叶片的旋转，将所吸气的气体沿旋转叶片的半径方向排气...

提供能够防止伴随着气体配管的过升温而发生的凸缘连接部的密封部件的烧坏、因该烧坏造成的气体泄漏的便宜的气体配管调温系统及温度动作装置。通过对于凸缘连接部能够进行温度调整，能够防止有可能伴随着气体配管部分的过升温而发生的密封部件的烧坏。当由...

提供一种能够实现清洁性能的提高的真空泵。具备加热器(11)、吹扫气体导入端口(12、13)、吹扫气体阀(14)和排气阀(16)；作为动作模式，具有能够使涡轮分子泵(100)内的堆积物升华的清洁动作模式；在清洁动作模式中，对加热器(11)...

本发明的目的是得到一种抑制析出物的堆积并且良好的容许流量的真空泵。在该真空泵中，设置有转子以及与转子对置配设的具有气体压缩功能的多个定子部，还设置有基准部件(301)，所述基准部件(301)是从底座部(129)朝向进气口(101)侧层叠...

得到能够抑制转子旋转时转子的接触故障引起的对外部配管的影响的真空泵。升温环(301)设置于该真空泵，连接外部配管的排气口(133)连接于升温环(301)，由于转子的旋转时转子的接触故障而被直接或间接地施加旋转力。并且，除了升温环(301...

本发明提供一种能够有效地防止旋转体的应力腐蚀破裂、耐腐蚀性优异的真空泵和其旋转体。在通过旋转体(103)的旋转将气体排出的真空泵(例如涡轮分子泵(100))中，旋转体(103)在其表面具有被第1表面处理层(1A)覆盖的第1区域(1)和被...

在有关本发明的真空泵(100)中，具备：旋转体(103)，具有旋转轴(113)和旋转叶片(102)，所述旋转叶片(102)具有供该旋转轴(113)的顶部贯通的贯通孔(220)，使顶部将该贯通孔(220)贯通而固定；以及罩部(500)，以...

提供通过在泵侧进行为了抑制堆积物从工艺气体的析出所进行的配管的加热器控制以及进行堆积物的除去的沉积物捕集器的冷却控制而实现成本降低及节省空间、并且通过进行与工艺气体的状况对应的加热器控制及冷却控制而带来节能的真空泵及控制装置。在导入管(...

本发明提供能够有效抑制热膨胀导致的性能下降的真空泵。前述真空泵具备外装体(203)、旋转体(103)、螺纹槽定子(131)、螺纹槽(131a)，前述外装体(203)设置有吸气口(101)，前述旋转体(103)内包于外装体(203)，被旋...

提供一种能够实现泵、阀的小型化及使配管径变细，并且能够从高真空到大流量域进行发挥泵的排气特性的高效率的排气的真空排气系统。在真空腔室(5)内已使用的工艺气体经过调整阀(7)而到达分支配管(29)。分支配管(29)的图中由A表示的一侧的流...

提供一种真空泵及真空泵具备的旋转圆筒体，其能够在不使旋转圆筒体(旋转体)的转速下降的情况下减少应力且提高排气性能。在真空泵具备的圆筒部(旋转圆筒体)的排气口侧下部，设置与螺纹槽排气元件的固定侧零件相比向下游侧延伸的延伸部。在延伸部，外径...

本发明提供适合实现腔内的压力的均匀化和压缩比的提高的真空泵和使用该真空泵的真空排气系统。真空泵(P1)具备筒状的内壳(1)、在内壳的外侧配置的筒状的定子(2)、在内壳和定子之间旋转自如地配设的筒状的轴(3)、将轴绕其轴心旋转驱动的马达(...