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搜索“U吉尔克里斯特”的结果
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  • 用于密封环境的位置反馈
    一种输送设备包括:壳体;安装到壳体的驱动器;连接到驱动器的至少一个输送臂,驱动器包括:至少一个转子,其具有磁导性材料的至少一个凸极且安置于隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极和相对应的线圈单元且安置于隔离环境外,至少一个定子的至少一个凸极和转子的至少一个凸极在至少一个...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:JT穆拉R塞普拉扎B冈M科亚迪U吉尔克里斯特
  • 一种基板处理装置,其包括:具有串联连接的臂链路的运输臂,所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度;至少第一滑轮和第二滑轮,其中,第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路;以及至少一个扭矩传递带,其在第一滑轮和第二滑轮之间纵向地延伸并且被联接至第一滑轮和第二滑轮中的每一个...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:U吉尔克里斯特
  • 基板运输设备
    本发明专利技术提供了一种基板运输设备,包括:框架;上臂,所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述框架;前臂,所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂,其中,所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的堆叠式前臂部;以及独立堆叠式末端效应器,所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述前臂,所述前臂对所...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡韦尼U吉尔克里斯特
  • 密封式机器人驱动器
    一种输送设备,包括壳体、安装到所述壳体的驱动器以及连接到所述驱动器的至少一个输送臂,其中,所述驱动器包括:至少一个转子,其具有导磁材料的至少一个凸极,并且设置在隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极,并且设置在所述隔离环境外,所述至少一个凸极具有相对应的线圈单元;其中,...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:JT穆拉U吉尔克里斯特RT卡夫尼
  • 一种传送设备包括:框架;连接到所述框架的多个臂,每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线;线性轨,其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂;以及公共驱动轴线,其被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂,...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼U吉尔克里斯特A克鲁皮舍夫
  • 根据所公开的实施例的一个或多个方面,提供了一种半导体处理设备。所述半导体处理设备包括:形成可密封室的框架,所述可密封室具有纵向轴线和在所述纵向轴线两侧的横向侧,所述可密封室配置成在所述可密封室中保持密封的环境;至少一个输送模块,其安装至所述可密封室,并且具有伸缩滑架,所述伸缩...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼U吉尔克里斯特
  • 一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备,所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括:驱动部段;以及至少一个基部臂,所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可旋转地联接到基部臂的公共端上的至少一个搬...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:A克鲁皮舍夫U吉尔克里斯特RT卡夫尼D巴布斯
  • 输送设备
    一种用于输送基底的基底输送设备,该基底输送设备包括框架、连接到框架上的至少一个传递臂、安装到至少一个传递臂的至少一个末端执行器,和设置在至少一个末端执行器上的至少一个基底支承垫,至少一个基底支承垫具有下列构造,该构造沿至少一个预定方向实现由增大的摩擦系数引起的增大的摩擦力。
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:U吉尔克里斯特JT穆拉
  • 一种基底处理设备包括框架、连接到框架上的第一SCARA臂,其包括构造成沿第一径向轴线延伸和收缩的末端执行器;连接到框架上的第二SCARA臂,其包括构造成沿第二径向轴线延伸和收缩的末端执行器,SCARA臂具有公共肩部旋转轴线;以及联接到SCARA臂上的驱动区段构造成使各个SCA...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:U吉尔克里斯特RT卡夫尼J克里什纳萨米M德鲁JT穆拉
  • 同轴驱动的真空机器人
    一种机器人输送设备包括驱动系统,驱动系统包括至少一个谐波马达组件、联接到至少一个谐波马达组件上的至少一个驱动轴、安装到至少一个驱动轴上的至少一个机器人臂,其中机器人臂位于密封环境内,以及位于驱动系统的输出表面且形成大气隔层的至少一个大气隔离密封件,大气隔层设置成以便至少一个驱...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼U吉尔克里斯特
  • 一种用于基片传送臂的驱动部分,包括框架,在框架内安装的至少一个定子,该定子包括第一电机部分和至少一个定子轴承部分,和,基本无接触地由该至少一个定子轴承部分以磁力方式支撑的共轴转轴,其中共轴转轴的每一个驱动轴包括转子,该转子包括第二电机部分和被配置为与该至少一个定子轴承部分相接...
  • 基片对齐器提供了最小的基片运输器延伸和收回运动以快速地对齐基片而不损坏背侧,同时增加了基片处理的生产能力。在一个实施例中,对齐器具有连接到框架的倒转卡盘,带有能将基片从卡盘传递到运输器的基片传递系统而不旋转地再定位基片。倒转卡盘消除了对齐器对基片基准的阻挡,且与传递系统一起允...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:JT毛拉M候塞克T博顿利U吉尔克里斯特
  • 依照本发明专利技术的实施方案中的一种半导体工件加工系统具有至少一件用于加工半导体工件的加工工具,一种用于承载至少一件加工工具的容器,容器中的半导体工件可以在至少一种加工工具之间往返传送,以及一种延长的初级传送单元,该单元界定了运动方向。此初级传送单元具有与容器相接口的部件,初...
  • 本发明专利技术提供了一种基底输送系统示例实施例。该系统有引导通路和至少一个输送车辆。输送车辆适合于保持至少一个基底,并能够由引导通路支承和沿该引导通路运动。引导通路包括用于车辆的至少一个运行车道以及至少一个进入车道,该至少一个进入车道偏离运行车道,以便允许车辆选择性地进入和离...
  • 基片运输设备包括驱动部分、控制器、上臂、前臂和基片保持器。上臂的近端在肩关节处可旋转地安装到驱动部分。前臂的近端在肘关节处可旋转地安装到上臂的远端。基片保持器在腕关节处可旋转地安装到前臂的远端。上臂和前臂从关节中心到关节中心不等长。基片运输臂适合于向至少两个基片保持区和从至少...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼D马丁U吉尔克里斯特
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