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  • 基片对齐器提供了最小的基片运输器延伸和收回运动以快速地对齐基片而不损坏背侧,同时增加了基片处理的生产能力。在一个实施例中,对齐器具有连接到框架的倒转卡盘,带有能将基片从卡盘传递到运输器的基片传递系统而不旋转地再定位基片。倒转卡盘消除了对齐器对基片基准的阻挡,且与传递系统一起允...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:JT毛拉M候塞克T博顿利U吉尔克里斯特
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