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搜索“RT卡夫尼”的结果
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  • 密封式机器人驱动器
    一种输送设备,包括壳体、安装到所述壳体的驱动器以及连接到所述驱动器的至少一个输送臂,其中,所述驱动器包括:至少一个转子,其具有导磁材料的至少一个凸极,并且设置在隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极,并且设置在所述隔离环境外,所述至少一个凸极具有相对应的线圈单元;其中,...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:JT穆拉U吉尔克里斯特RT卡夫尼
  • 一种运输设备,其包括框架;连接到所述框架的驱动部段,所述驱动部段具有至少一个驱动轴线;至少一个臂,其具有构造成用于保持衬底的端部执行器,所述至少一个臂通过传动连杆连接到所述驱动部段并且具有实现所述端部执行器相对于所述至少一个臂延伸和缩回的至少一个自由度轴线;以及连接到所述框架...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼
  • 一种传送设备包括:框架;连接到所述框架的多个臂,每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线;线性轨,其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂;以及公共驱动轴线,其被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂,...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼U吉尔克里斯特A克鲁皮舍夫
  • 根据所公开的实施例的一个或多个方面,提供了一种半导体处理设备。所述半导体处理设备包括:形成可密封室的框架,所述可密封室具有纵向轴线和在所述纵向轴线两侧的横向侧,所述可密封室配置成在所述可密封室中保持密封的环境;至少一个输送模块,其安装至所述可密封室,并且具有伸缩滑架,所述伸缩...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼U吉尔克里斯特
  • 一种基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机,用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆,所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子,所述定子具有定子线圈,所述定子线圈设置在相对于所述框体固定的...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼
  • 衬底运送系统包括:载体,其具有壳体以及门,壳体形成内部环境,内部环境具有开口,以保持至少一个衬底,门用于将开口与外部气氛密封开,其中在被密封时,内部环境构造成保持其中的内部气氛,壳体包括流体贮存器,其在内部环境的外部且构造成容纳流体,从而在流体贮存器中形成与内部气氛不同的气氛...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:D巴布斯RT卡夫尼RC梅KA马查克
  • 一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备,所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括:驱动部段;以及至少一个基部臂,所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可旋转地联接到基部臂的公共端上的至少一个搬...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:A克鲁皮舍夫U吉尔克里斯特RT卡夫尼D巴布斯
  • 一种基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机,用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆,所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子,所述定子具有定子线圈,所述定子线圈设置在相对于所述框体固定的...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼
  • 一种基底处理设备包括框架、连接到框架上的第一SCARA臂,其包括构造成沿第一径向轴线延伸和收缩的末端执行器;连接到框架上的第二SCARA臂,其包括构造成沿第二径向轴线延伸和收缩的末端执行器,SCARA臂具有公共肩部旋转轴线;以及联接到SCARA臂上的驱动区段构造成使各个SCA...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:U吉尔克里斯特RT卡夫尼J克里什纳萨米M德鲁JT穆拉
  • 同轴驱动的真空机器人
    一种机器人输送设备包括驱动系统,驱动系统包括至少一个谐波马达组件、联接到至少一个谐波马达组件上的至少一个驱动轴、安装到至少一个驱动轴上的至少一个机器人臂,其中机器人臂位于密封环境内,以及位于驱动系统的输出表面且形成大气隔层的至少一个大气隔离密封件,大气隔层设置成以便至少一个驱...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼U吉尔克里斯特
  • 一种半导体工件处理装置,具有第一室,运输工具和另外的室。所述第一室能与外界气体环境隔离。运输工具处在第一室内并被第一室可动地支承着,以相对于第一室作直线运动。该运输工具包括可动地安装在底座上的整体半导体工件输送臂,该输送臂能相对于底座作多路径运动。另外的室通过第一室的可关闭开...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:CA霍夫梅斯特RT卡夫尼M维斯
  • 基片运输设备包括驱动部分、控制器、上臂、前臂和基片保持器。上臂的近端在肩关节处可旋转地安装到驱动部分。前臂的近端在肘关节处可旋转地安装到上臂的远端。基片保持器在腕关节处可旋转地安装到前臂的远端。上臂和前臂从关节中心到关节中心不等长。基片运输臂适合于向至少两个基片保持区和从至少...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:RT卡夫尼D马丁U吉尔克里斯特
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