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  • 用于密封环境的位置反馈
    一种输送设备包括:壳体;安装到壳体的驱动器;连接到驱动器的至少一个输送臂,驱动器包括:至少一个转子,其具有磁导性材料的至少一个凸极且安置于隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极和相对应的线圈单元且安置于隔离环境外,至少一个定子的至少一个凸极和转子的至少一个凸极在至少一个...
    专利权人:布鲁克斯自动化公司,  技术研发人员:JT穆拉R塞普拉扎B冈M科亚迪U吉尔克里斯特
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