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  • 本实用新型专利技术涉及半导体硅片研磨技术领域,具体地说是一种硅片研磨液小型氮气加湿装置,包括设备柜体,设备柜体内设置有抽风装置、超纯水缓冲罐、氮气加湿器灌、热水器传感器、氮气冷凝器、湿度传感器、氮气过滤器,抽风装置通过管道连接超纯水缓冲罐,超纯水缓冲罐的出水口通过管道连接氮气...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:邵艳荣简建至林裕哲蒋陈峰
  • 本实用新型专利技术涉及一种电子级化学品分装设备,属于化学品充填设备技术领域,包括设备主体(1),设备主体(1)底部设有滚轮输送线(7)、电子称平台(9),滚轮输送线(7)与变频电机(15)的输出端相连,电子称平台(9)设于滚轮输送线(7)下方,设备主体(1)中部设有气动阀门放...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:岳佳佳简建至简水村林裕哲
  • 本实用新型专利技术涉及化学品供应设备技术领域,具体地说是一种改进型电子级化学品供应桶放置平台,包括滚轮平台主体(3)、滚轮(5)、顶升滚轮(6)及电子称主体(1),滚轮平台主体(3)上端连接有端盖(4),端盖(4)之间安装有滚轮轴(10),滚轮(5)、顶升滚轮(6)通过滚轮轴...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:胡厚福简建至林裕哲简水村
  • 本实用新型专利技术涉及一种电子级化学品盛装桶的清洗设备,包括设备主体(1),设备主体(1)顶部安装有空气过滤器(2)和抽风口(9),设备主体(1)内部设有用于清洗桶内连接管及桶盖的清洗盒(3),设备主体(1)上固定连接有清洗喷头及汲取管放置盒(6),清洗喷头及汲取管放置盒(6...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:岳佳佳简建至简水村
  • 本实用新型专利技术涉及一种硅片研磨浆料自动搅拌装置,包括安装支架(1)、升降电机(2)、升降滑轨(3)、搅拌电机(4)、搅拌桨(5)和控制箱(6),升降电机(2)的输出端连接升降滑轨(3)上的滑块(7),搅拌电机(4)固定在滑块(7)上,搅拌电机(4)的输出端连接搅拌桨(5)...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:岳佳佳简建至胡厚福
  • 本实用新型专利技术涉及一种硅片自旋转及振荡机构,包括安装支架(1)、花篮(2)、Z型托架(3)、自旋转机构和上下振荡机构,自旋转机构、上下振荡机构安装在安装支架(1)上,花篮(2)托置于Z型托架(3)上,Z型托架(3)连接上下振荡机构的输出端,Z型托架(3)在上下振荡机构的带...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:江献茂简建至赵晗
  • 本实用新型专利技术涉及一种在线式稀释设备,包括PLC控制器、进药管、进水管、可调流量阀、浓度计及在线混合器,所述在线混合器的进液端口分别连接进药管、进水管及回流管道,所述进药管、进水管及回流管道上分别设有可调流量阀Ⅰ、可调流量阀Ⅱ及截止阀Ⅰ,所述在线混合器的出液端口连接出液管...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:张仕成简建至吴玉明
  • 本发明专利技术涉及半导体制造技术领域,具体地说是一种高精度浓度计,包括PLC控制器(1)、浓度计(2)、浓度计探棒(6)、进液管(7)、出液管(4)及液体减速罐(3),所述液体减速罐(3)内部设有液体缓冲室(5),所述液体缓冲室(5)的顶端部位通过出液口连接出液管(4),所述...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:张仕成简建至吴玉明
  • 本实用新型专利技术涉及气体供应技术领域,具体地说是一种全自动气柜换钢瓶防泄漏系统,包括左气体钢瓶(GASL)、右气体钢瓶(GASR)和电气系统,左气体钢瓶(GASL)、右气体钢瓶(GASR)的出口分别通过管路连接特殊气管线、氮气管线和真空管线,氮气管线上安装有压力信号传送器(...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至姚辉凌晨华
  • 本实用新型专利技术涉及一种自动切换双钢瓶氮气面板,包括安装面板,安装面板上设有高压气体出口、低压气体出口、左气体入口、右气体入口,左气体入口通过管路一连接高压气体出口,右气体入口通过管路二连接高压气体出口,管路一、管路二并联连接,管路一上安装有左压力表、左隔膜阀一,管路二上安...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至姚辉凌晨华
  • 本实用新型专利技术涉及一种在线式全自动HF及HNO3换热系统,包括设备机台(6),设备机台(6)内置有桶式换热器(2)、泵管道模组(3)、换热器管道模组(4)和气体室模组(5),设备机台(6)顶端设有强制抽风管道接口(7),设备机台(6)前端面上设有前维修门(8),设备机台(...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至江献茂黄自柯
  • 本实用新型专利技术涉及一种半自动一体型蚀刻清洗机,包括箱体(1),箱体(1)前、后部分别设有清洗区和维修区,清洗区包括安全清洗区(2)和危险清洗区(3),安全清洗区(2)位于清洗区前半区,危险清洗区(3)位于清洗区后半区,安全清洗区(2)和危险清洗区(3)内均置有槽体,安全清...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至江献茂黄自柯
  • 本实用新型专利技术涉及化学品供应技术领域,具体地说是一种化学品供应系统用强制抽风排气储气罐,包括气罐本体(1),所述气罐本体(1)顶部设有排气口(2),所述排气口(2)连接强制抽风管道,所述气罐本体(1)侧面设有进气口(3),所述进气口(3)处设有内置式限流孔板(4),所述气...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至江献茂黄自柯
  • 本实用新型专利技术涉及化学品供应技术领域,具体地说是一种化学品供应系统用灌装机械手臂,包括机械手臂和灌装定位装置,所述机械手臂包括垂直运动机构(1)和水平调节机构(2),所述垂直运动机构(1)安装在水平调节机构(2)端部,所述水平调节机构(2)另一端安装有灌装定位装置,所述灌...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至江献茂黄丙军
  • 本实用新型专利技术涉及化学品供应技术领域,具体地说是一种化学品供应系统用进液管清洗装置,包括清洗腔体,所述清洗腔体为底端敞口的倾斜式容器,所述清洗腔体内设有清洗区(1),所述清洗腔体侧面设有溢流区(3),所述清洗腔体顶端设置有端盖(5),所述端盖(5)与清洗腔体侧面呈倾斜式结...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至江献茂黄丙军
  • 本实用新型专利技术涉及化学品供应技术领域,具体地说是一种化学品供应系统用液气分离装置,包括管状的分离器本体,所述分离器本体顶部设有气体出口(1)和液体出口(2),所述分离器本体侧面设有气液两相进口(3),所述气体出口(1)连接导气型腔(4),所述液体出口(2)连接导液管(5)...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至江献茂黄自柯
  • 本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域,具体地说是一种化学品供应系统,包括供应柜部分和管路部分,所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端,所述供应柜部分包括桶槽(1)、泵(2)和过滤器(3),所述管路部分包括管路(4)和阀箱(5),所述桶槽(1)、泵(2)、过滤器(3)、...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至胡厚福
  • 本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域,具体地说是一种化学品供应系统用三通箱,包括箱体(1)和箱体盖(2),所述箱体(1)与箱体盖(2)密封连接,所述箱体(1)内设置有手动阀(3),所述箱体(1)上部的一侧设有进口(4),所述箱体(1)上部的另一侧设有出口(5),所述箱体(...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至胡厚福
  • 本实用新型专利技术涉及一种化学品供应的监控报警系统,主要包括:采集模块,采集化学品供应系统中的化学品使用量指标数据和化学品库存系统中的化学品库存量指标数据;PLC模块,根据所述化学品的历史使用量指标数据的数值集合计算该历史使用量指标数据的数值集合的数学期望值和均方差值;设置模...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至胡厚福
  • 本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域,具体地说是一种酸性化学品供应控制系统,包括酸桶系统和供应槽系统,所述酸桶系统管道连接供应槽系统,所述供应槽系统管道连接化学品用户端(9),所述酸桶系统包括酸桶(1),所述供应槽系统包括供应槽(2)、传感器(3)、泵(4)和气动阀(5)...
    专利权人:冠礼控制科技上海有限公司,  技术研发人员:简建至胡厚福
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