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  • 能防止断气的充气系统及晶圆充气系统
    本实用新型专利技术提供了充气系统。充气系统包含:主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。气动开关单元能选择地阻断主进气管路。副进气管路连接主进气管路及气动开关单元,电动开关单元能选择性阻断副进气管路。电动开关单元能于第一通电模式或由第一通电模式转换为断电状态时,使...
    专利权人:华景电通股份有限公司,  技术研发人员:陈勇州古伊钧林祺浩
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