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  • 本实用新型专利技术公开了一种预加热式外延炉,该外延炉的反应室内设置大盘及位于大盘中心上方的注入器,大盘上设置若干用于放置晶片的小盘基座,大盘底部设置有加热线圈,至少一进气管路与注入器相通并通过注入器向反应室内输入源气,其中进气管路上设置有预加热装置,该预加热装置包括串联于进气...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:钱卫宁冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开了一种分段加热式外延炉,该外延炉的反应室内设置有大盘,大盘中心上方设置有用于向反应室内输入源气的注入器,大盘上围绕中心设置若干用于放置晶片的小盘基座,大盘底部设置有用于给大盘加热的加热线圈。加热线圈呈平面螺旋型绕设于大盘底部且具有至少一断开点,以形成至少...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:钱卫宁冯淦赵建辉
  • 一种外延炉的偏心盖环
    本实用新型专利技术公开了一种外延炉的偏心盖环,所述偏心盖环设置于外延炉的小盘上并具有环状结构,其环状结构的内圆和外圆偏心设置且分别具有一缺口,两缺口叠合形成一开口,小尺寸外延晶片置于内圆区域内可有效模拟大尺寸晶片生长,并在缺口所在方向上实现大尺寸晶片全半径范围的结构及性能展现...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:罗金云冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开了一种外延炉小盘基座,所述小盘基座中部凸起形成用于生长外延晶片的可旋转圆盘平台,圆盘平台上表面的周缘设置有至少三个限位块,所述限位块是沿圆盘平台周向延伸的条状凸起且近圆盘平台中心一侧形成与外延晶片匹配的圆弧段。通过限位块将衬底固定于圆盘平台上,去除了外限...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:孙永强冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开了一种外延炉的盖片,设置于外延炉大盘上相邻小盘基座之间的间隙区域,该盖片包括上盖片及下盖片,所述上盖片由所述大盘边缘延伸至与相邻两小盘基座的圆心连接线平齐,所述下盖片由所述圆心连接线延伸至所述大盘的中部,所述上盖片与下盖片相互配合并覆盖所述间隙区域。本实...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:罗金云冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开了一种外延炉反应室的可拆卸顶盖,包括上顶盖及下顶盖,下顶盖包括一中心圆插件及至少两个扇形环插件,所述中心圆插件通过连接件与上顶盖中部连接,所述扇形环插件紧密配合的环绕于中心圆插件外侧并分别与上顶盖连接;其中中心圆插件与扇形环插件的相接处及扇形环插件相互之...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:李奕洋冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开了一种电线成卷机剪线装置,包括剪线支架,在所述剪线支架上铰支有剪刀驱动机构,剪刀驱动机构与剪刀一柄端铰连,剪刀的另一柄端通过摆杆铰连在剪线支架上;在剪线支架上设有一剪切挡块,剪切挡块的位置与摆杆相对应。采用本实用新型专利技术的电线成卷机剪线装置结构简单,...
    专利权人:江苏新技机械有限公司,  技术研发人员:周代烈欧密周少林冯淦
  • 本实用新型专利技术公开了一种电线成卷包膜设备的线卷驱动装置,包括机架,在所述机架上支承有可升降的线卷驱动安装座,在该线卷驱动安装座上转动支承有至少三件线卷驱动锥轮,各线卷驱动锥轮的最高母线处于同一平面上,各线卷驱动锥轮与安装在线卷驱动安装座上的驱动电机传动连接。本实用新型专利...
    专利权人:江苏新技机械有限公司,  技术研发人员:周代烈欧密周少林冯淦
  • 电线成卷机剪线装置
    本发明专利技术公开了一种电线成卷机剪线装置,包括剪线支架,在所述剪线支架上铰支有剪刀驱动机构,剪刀驱动机构与剪刀一柄端铰连,剪刀的另一柄端通过摆杆铰连在剪线支架上;在剪线支架上设有一剪切挡块,剪切挡块的位置与摆杆相对应。采用本发明专利技术的电线成卷机剪线装置结构简单,所占空间...
    专利权人:江苏新技机械有限公司,  技术研发人员:周代烈欧密周少林冯淦
  • 本实用新型专利技术公开一种碳化硅外延炉,包括顶盖和反应室;顶盖包括外盖,上顶盖、下顶盖、锁扣和第一测温系统,上顶盖和下顶盖通过锁扣固定在外盖上,反应室包括第二测温系统、一个大盘基座、若干个小盘基座、盖片和支架,盖片通过支架安装在大盘基座中间,小盘基座设于大盘基座上并分布在盖片...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:李奕洋冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开一种碳化硅外延炉尾气管道,包括复数个主管道、支管道和水管;主管道由管道主体和连接端组成,主管道的两端和中间均设置连接端,支管道也形成连接端,主管道中间的连接端与支管道连接端对接,支管道的连接端设置一水管;本实用新型专利技术实现管道的快速冷却,防止尾气管道...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:罗金云冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开一种碳化硅外延炉的进气装置;包括进气管和主腔体;主腔体呈圆柱形,主腔体侧边开设多个圆形出气孔,进气管上开设进气口,进气管插置在主腔体上;本实用新型专利技术有效防止出气孔堵塞,提高碳化硅外延生长反应的稳定性。
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:钱卫宁冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开一种用于密闭反应室的自净化系统,密闭反应室包括一个主箱体,主箱体内开设上腔体和下腔体,上腔体与下腔体通过一隔板隔开,隔板上开设一通风孔;主箱体外侧开设送风口和抽风口;自净化系统包括控制箱、过滤箱、风机、送风法兰、抽风法兰和电控风阀;风机安装在隔板下沿并与...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:吕立平冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开一种碳化硅外延炉的进气装置,包括进气管和主腔体;主腔体呈圆柱形,主腔体下端开设多个出气孔,主腔体上端封闭;进气管一端开设进气口,进气管另一端伸入到主腔体内;本实用新型专利技术对反应气体进行预加热,有效防止出气孔堵塞,减小进气口装置与碳化硅反应室的温度差,...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:钱卫宁冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术公开一种碳化硅外延炉的半圆形盖片,包括大盖片和小盖片;大盖片和小盖片均为圆环形状,大盖片由两个半圆环盖片拼接而成,大盖片中间形成一个圆环形凹槽,小盖片由复数个扇形圆环盖片拼接而成,小盖片安装在大盖片的圆环形凹槽内;本实用新型专利技术能够提高碳化硅外延炉的半圆...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:孙强冯淦赵建辉
  • 本发明专利技术公开一种碳化硅外延炉的半圆形盖片,包括大盖片和小盖片;大盖片和小盖片均为圆环形状,大盖片由两个半圆环盖片拼接而成,大盖片中间形成一个圆环形凹槽,小盖片由复数个扇形圆环盖片拼接而成,小盖片安装在大盖片的圆环形凹槽内;本发明专利技术能够提高碳化硅外延炉的半圆形盖片的...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:孙永强冯淦赵建辉
  • 本发明专利技术公开一种用于密闭反应室的自净化系统,密闭反应室包括一个主箱体,主箱体内开设上腔体和下腔体,上腔体与下腔体通过一隔板隔开,隔板上开设一通风孔;主箱体外侧开设送风口和抽风口;自净化系统包括控制箱、过滤箱、风机、送风法兰、抽风法兰和电控风阀;风机安装在隔板下沿并与通风...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:吕立平冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术提出了一种碳化硅外延生长反应室,包括顶盖和反应室,所述顶盖包括外盖、上顶盖、下顶盖、锁扣和第一测温系统,所述上顶盖和所述下顶盖通过所述锁扣固定在所述外盖上,所述反应室包括第二测温系统、一个大盘基座和若干个小盘基座,所述小盘基座设于所述大盘基座上,所述第二测温...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术提出碳化硅外延炉兼容小盘基座,实现了在同一个小盘基座上实现碳化硅外延晶片的多尺寸兼容生长。碳化硅外延炉兼容小盘基座,包括圆盘基座和外限位圆环,所述圆盘基座中部凸起形成一个用于外延生长碳化硅外延晶片的圆盘平台;所述外限位圆环套设在所述圆盘平台边沿,并且外限位圆...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:冯淦赵建辉
  • 本实用新型专利技术提出了一种碳化硅外延生长反应室顶盖的拆卸工具,包括拆装头和手柄,拆装头包括固定座和连接于固定座上的定位钉,手柄与固定座连接,定位钉与手柄相互垂直。本实用新型专利技术使用时,在推动同一石墨卡环旋转时,拆装头与手柄垂直的连接角度,可使使用者最省力;定位钉的设置可...
    专利权人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,  技术研发人员:罗金云冯淦赵建辉
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